传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2006年
5期
1757-1760
,共4页
朱正鹏%缪晻%瞿波%金玉丰%冯进军
硃正鵬%繆晻%瞿波%金玉豐%馮進軍
주정붕%무엄%구파%금옥봉%풍진군
太赫兹%真空电子技术%有限积分方法%微机电系统
太赫玆%真空電子技術%有限積分方法%微機電繫統
태혁자%진공전자기술%유한적분방법%미궤전계통
在太赫兹频段,折叠波导行波管因其重要的应用价值已成为一个研究热点.介绍了折叠波导结构和折叠波导行波管,优化设计了一种560GHz行波管器件的结构尺寸,并分别用理论解析方法和软件模拟工具研究了折叠波导慢波结构的冷测特性.文章还对该类折叠波导慢波结构的微加工技术进行了初步的探讨,提出了基于ICP体硅深刻蚀、无电镀铜等组合工艺方案.
在太赫玆頻段,摺疊波導行波管因其重要的應用價值已成為一箇研究熱點.介紹瞭摺疊波導結構和摺疊波導行波管,優化設計瞭一種560GHz行波管器件的結構呎吋,併分彆用理論解析方法和軟件模擬工具研究瞭摺疊波導慢波結構的冷測特性.文章還對該類摺疊波導慢波結構的微加工技術進行瞭初步的探討,提齣瞭基于ICP體硅深刻蝕、無電鍍銅等組閤工藝方案.
재태혁자빈단,절첩파도행파관인기중요적응용개치이성위일개연구열점.개소료절첩파도결구화절첩파도행파관,우화설계료일충560GHz행파관기건적결구척촌,병분별용이론해석방법화연건모의공구연구료절첩파도만파결구적랭측특성.문장환대해류절첩파도만파결구적미가공기술진행료초보적탐토,제출료기우ICP체규심각식、무전도동등조합공예방안.
