强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2008年
8期
1306-1308
,共3页
光学薄膜%YbF3薄膜%应力分析%附着力%热蒸发
光學薄膜%YbF3薄膜%應力分析%附著力%熱蒸髮
광학박막%YbF3박막%응력분석%부착력%열증발
实验研究了热蒸发YbF3薄膜在大气中的应力和附着力.利用Veeco干涉仪,测试了各种工艺条件下单层YbF3薄膜的应力.结果发现:YbF3薄膜的残余应力为张应力,热应力在残余应力中的比重较大;沉积方式对薄膜应力的影响不大;薄膜应力在大气中有一个释放的过程.热处理后.YbR薄膜应力增大.
實驗研究瞭熱蒸髮YbF3薄膜在大氣中的應力和附著力.利用Veeco榦涉儀,測試瞭各種工藝條件下單層YbF3薄膜的應力.結果髮現:YbF3薄膜的殘餘應力為張應力,熱應力在殘餘應力中的比重較大;沉積方式對薄膜應力的影響不大;薄膜應力在大氣中有一箇釋放的過程.熱處理後.YbR薄膜應力增大.
실험연구료열증발YbF3박막재대기중적응력화부착력.이용Veeco간섭의,측시료각충공예조건하단층YbF3박막적응력.결과발현:YbF3박막적잔여응력위장응력,열응력재잔여응력중적비중교대;침적방식대박막응력적영향불대;박막응력재대기중유일개석방적과정.열처리후.YbR박막응력증대.
