激光与光电子学进展
激光與光電子學進展
격광여광전자학진전
LASER & OPTOELECTRONICS PROGRESS
2009年
7期
23-27
,共5页
雕塑薄膜%倾斜角沉积%预结构%三维光子晶体
彫塑薄膜%傾斜角沉積%預結構%三維光子晶體
조소박막%경사각침적%예결구%삼유광자정체
微纳结构雕塑薄膜是在低温环境下采用倾斜角沉积技术再辅以基片的运动而制备得的各向异性功能性薄膜.由于沉积过程中的自阴影效应使得雕塑薄膜中存在很多孔洞,而且微观结构复杂多样,从而表现出很多新颖的光学特性,因此可作为微纳光电子器件实现工业应用.
微納結構彫塑薄膜是在低溫環境下採用傾斜角沉積技術再輔以基片的運動而製備得的各嚮異性功能性薄膜.由于沉積過程中的自陰影效應使得彫塑薄膜中存在很多孔洞,而且微觀結構複雜多樣,從而錶現齣很多新穎的光學特性,因此可作為微納光電子器件實現工業應用.
미납결구조소박막시재저온배경하채용경사각침적기술재보이기편적운동이제비득적각향이성공능성박막.유우침적과정중적자음영효응사득조소박막중존재흔다공동,이차미관결구복잡다양,종이표현출흔다신영적광학특성,인차가작위미납광전자기건실현공업응용.
