红外与激光工程
紅外與激光工程
홍외여격광공정
INFRARED AND LASER ENGINEERING
2011年
1期
61-65
,共5页
杨成娟%梅雪松%王文君%姜歌东%王恪典%丁明江
楊成娟%梅雪鬆%王文君%薑歌東%王恪典%丁明江
양성연%매설송%왕문군%강가동%왕각전%정명강
飞秒激光%金铬薄膜%微槽线宽%前向烧蚀%后向烧蚀
飛秒激光%金鉻薄膜%微槽線寬%前嚮燒蝕%後嚮燒蝕
비초격광%금락박막%미조선관%전향소식%후향소식
着重从实验角度对飞秒激光烧蚀金属薄膜所得直线微槽的形状尺寸与实验加工参数之间的控制规律进行了研究.对使用频率为1kHz、波长为800nm、脉宽为30fs的超短脉冲激光在150nm厚的金铬薄膜上直线扫描所得微结构进行观察,发现:改变聚焦物镜的数值孔径(NA)、激光功率、扫描速率以及重复扫描次数等实验参数,均会对加工所得微槽宽度造成影响.得到了减小聚焦物镜数值孔径、提高激光功率、降低激光扫描速率、增加扫描次数均能提高直线微槽的宽度的参数控制规律.此外,还对后向激光烧蚀方法进行了实验研究,并与前向刻蚀的实验结果进行比较,验证了前向加工方法在加工质量和加工效率方面均优于后向加工,并分析其原因.
著重從實驗角度對飛秒激光燒蝕金屬薄膜所得直線微槽的形狀呎吋與實驗加工參數之間的控製規律進行瞭研究.對使用頻率為1kHz、波長為800nm、脈寬為30fs的超短脈遲激光在150nm厚的金鉻薄膜上直線掃描所得微結構進行觀察,髮現:改變聚焦物鏡的數值孔徑(NA)、激光功率、掃描速率以及重複掃描次數等實驗參數,均會對加工所得微槽寬度造成影響.得到瞭減小聚焦物鏡數值孔徑、提高激光功率、降低激光掃描速率、增加掃描次數均能提高直線微槽的寬度的參數控製規律.此外,還對後嚮激光燒蝕方法進行瞭實驗研究,併與前嚮刻蝕的實驗結果進行比較,驗證瞭前嚮加工方法在加工質量和加工效率方麵均優于後嚮加工,併分析其原因.
착중종실험각도대비초격광소식금속박막소득직선미조적형상척촌여실험가공삼수지간적공제규률진행료연구.대사용빈솔위1kHz、파장위800nm、맥관위30fs적초단맥충격광재150nm후적금락박막상직선소묘소득미결구진행관찰,발현:개변취초물경적수치공경(NA)、격광공솔、소묘속솔이급중복소묘차수등실험삼수,균회대가공소득미조관도조성영향.득도료감소취초물경수치공경、제고격광공솔、강저격광소묘속솔、증가소묘차수균능제고직선미조적관도적삼수공제규률.차외,환대후향격광소식방법진행료실험연구,병여전향각식적실험결과진행비교,험증료전향가공방법재가공질량화가공효솔방면균우우후향가공,병분석기원인.
