吉林大学自然科学学报
吉林大學自然科學學報
길림대학자연과학학보
ACTA SCIENTIARUM NATURALIUM UNIVERSITATIS JILINENSIS
2000年
3期
61-64
,共4页
杨洁%顾鼎熙%石勇%李迅%王成新%韩永昊%刘洪武
楊潔%顧鼎熙%石勇%李迅%王成新%韓永昊%劉洪武
양길%고정희%석용%리신%왕성신%한영호%류홍무
纳米引晶%金刚石薄膜%选择性生长
納米引晶%金剛石薄膜%選擇性生長
납미인정%금강석박막%선택성생장
采用光刻工艺和纳米引晶技术, 在抛光的单晶Si衬底上形成带有超细金刚石纳米粉的引晶图案, 并利用引晶处与抛光Si处金刚石成核密度的巨大差异, 在光滑的Si3N4和Mo衬底上实现金刚石薄膜的高选择性生长.
採用光刻工藝和納米引晶技術, 在拋光的單晶Si襯底上形成帶有超細金剛石納米粉的引晶圖案, 併利用引晶處與拋光Si處金剛石成覈密度的巨大差異, 在光滑的Si3N4和Mo襯底上實現金剛石薄膜的高選擇性生長.
채용광각공예화납미인정기술, 재포광적단정Si츤저상형성대유초세금강석납미분적인정도안, 병이용인정처여포광Si처금강석성핵밀도적거대차이, 재광활적Si3N4화Mo츤저상실현금강석박막적고선택성생장.
