北京大学学报(自然科学版)
北京大學學報(自然科學版)
북경대학학보(자연과학판)
ACTA SCIENTIARUM NATURALIUM UNIVERSITATIS PEKINENSIS
2004年
3期
397-401
,共5页
杨振川%李婷%郝一龙%武国英
楊振川%李婷%郝一龍%武國英
양진천%리정%학일룡%무국영
微机电系统%微型继电器%有限元仿真%耦合分析%降解模型
微機電繫統%微型繼電器%有限元倣真%耦閤分析%降解模型
미궤전계통%미형계전기%유한원방진%우합분석%강해모형
介绍了一种横向接触式体硅微机械继电器.这种继电器采用硅/玻璃键合及深刻蚀(DRIE)工艺加工,并利用多晶硅填槽形成隔离结构.继电器采用静电激励,横向驱动.分析了继电器静电激励的阈值电压,介绍了一种在有限元仿真工具ANSYSTM下用降解模型(ROM)分析阈值电压的方法,并对仿真结果和实验结果进行了比较和讨论.
介紹瞭一種橫嚮接觸式體硅微機械繼電器.這種繼電器採用硅/玻璃鍵閤及深刻蝕(DRIE)工藝加工,併利用多晶硅填槽形成隔離結構.繼電器採用靜電激勵,橫嚮驅動.分析瞭繼電器靜電激勵的閾值電壓,介紹瞭一種在有限元倣真工具ANSYSTM下用降解模型(ROM)分析閾值電壓的方法,併對倣真結果和實驗結果進行瞭比較和討論.
개소료일충횡향접촉식체규미궤계계전기.저충계전기채용규/파리건합급심각식(DRIE)공예가공,병이용다정규전조형성격리결구.계전기채용정전격려,횡향구동.분석료계전기정전격려적역치전압,개소료일충재유한원방진공구ANSYSTM하용강해모형(ROM)분석역치전압적방법,병대방진결과화실험결과진행료비교화토론.
