西安交通大学学报
西安交通大學學報
서안교통대학학보
JOURNAL OF XI'AN JIAOTONG UNIVERSITY
2007年
9期
1031-1035
,共5页
张长富%任泰安%卢德江%蒋庄德
張長富%任泰安%盧德江%蔣莊德
장장부%임태안%로덕강%장장덕
表面硅微器件%掩膜%工艺流程%生成方法
錶麵硅微器件%掩膜%工藝流程%生成方法
표면규미기건%엄막%공예류정%생성방법
为消除目前手工设计掩膜和工艺流程的繁琐过程,提出了一种从表面硅微器件的三维结构模型自动生成掩膜和工艺流程的方法.该方法将三维器件模型作为输入,根据其组成特征的几何信息和材料信息识别出基底层、结构层、牺牲层和金属层等所有工艺层,再根据工艺层的结构特点和材料信息自动生成掩膜和工艺流程,并利用SolidWorks软件用户接口开发的应用程序验证了方法的可行性.应用实例表明,该方法不仅可以使设计者专注于器件结构本身的设计,而且易于实现掩膜和工艺流程的自动化生成,比传统的手工设计方法更加直观、高效,为相应的设计工具开发提供了理论分析和实验验证.
為消除目前手工設計掩膜和工藝流程的繁瑣過程,提齣瞭一種從錶麵硅微器件的三維結構模型自動生成掩膜和工藝流程的方法.該方法將三維器件模型作為輸入,根據其組成特徵的幾何信息和材料信息識彆齣基底層、結構層、犧牲層和金屬層等所有工藝層,再根據工藝層的結構特點和材料信息自動生成掩膜和工藝流程,併利用SolidWorks軟件用戶接口開髮的應用程序驗證瞭方法的可行性.應用實例錶明,該方法不僅可以使設計者專註于器件結構本身的設計,而且易于實現掩膜和工藝流程的自動化生成,比傳統的手工設計方法更加直觀、高效,為相應的設計工具開髮提供瞭理論分析和實驗驗證.
위소제목전수공설계엄막화공예류정적번쇄과정,제출료일충종표면규미기건적삼유결구모형자동생성엄막화공예류정적방법.해방법장삼유기건모형작위수입,근거기조성특정적궤하신식화재료신식식별출기저층、결구층、희생층화금속층등소유공예층,재근거공예층적결구특점화재료신식자동생성엄막화공예류정,병이용SolidWorks연건용호접구개발적응용정서험증료방법적가행성.응용실례표명,해방법불부가이사설계자전주우기건결구본신적설계,이차역우실현엄막화공예류정적자동화생성,비전통적수공설계방법경가직관、고효,위상응적설계공구개발제공료이론분석화실험험증.
