无机材料学报
無機材料學報
무궤재료학보
JOURNAL OF INORGANIC MATERIALS
2008年
4期
758-762
,共5页
龚海飞%邵天敏%张晨辉%徐军
龔海飛%邵天敏%張晨輝%徐軍
공해비%소천민%장신휘%서군
TiN/Ti%多层膜%层状结构%摩擦磨损
TiN/Ti%多層膜%層狀結構%摩抆磨損
TiN/Ti%다층막%층상결구%마찰마손
考察了TiN/Ti多层膜调制比对其摩擦磨损行为的影响.采用磁过滤阴极弧沉积的方法制备了具有不同调制比的TiN/Ti多层膜,用扫描电镜和透射电镜对其层状结构及子层结构进行了观察和分析.用纳米压痕和SRV摩擦磨损试验的方法,对多层膜进行了纳米硬度和弹性模量测试以及摩擦磨损实验.结果表明,所制备的TiN/Ti多层膜层状结构清晰,与基底结合良好,调制比对多层膜的硬度和磨损特性影响较大,而对摩擦系数的影响却小明显.结合实验结果,讨论了硬度与弹性模量的比值(H/E值)对TiN/Ti多层膜耐磨性的影响.
攷察瞭TiN/Ti多層膜調製比對其摩抆磨損行為的影響.採用磁過濾陰極弧沉積的方法製備瞭具有不同調製比的TiN/Ti多層膜,用掃描電鏡和透射電鏡對其層狀結構及子層結構進行瞭觀察和分析.用納米壓痕和SRV摩抆磨損試驗的方法,對多層膜進行瞭納米硬度和彈性模量測試以及摩抆磨損實驗.結果錶明,所製備的TiN/Ti多層膜層狀結構清晰,與基底結閤良好,調製比對多層膜的硬度和磨損特性影響較大,而對摩抆繫數的影響卻小明顯.結閤實驗結果,討論瞭硬度與彈性模量的比值(H/E值)對TiN/Ti多層膜耐磨性的影響.
고찰료TiN/Ti다층막조제비대기마찰마손행위적영향.채용자과려음겁호침적적방법제비료구유불동조제비적TiN/Ti다층막,용소묘전경화투사전경대기층상결구급자층결구진행료관찰화분석.용납미압흔화SRV마찰마손시험적방법,대다층막진행료납미경도화탄성모량측시이급마찰마손실험.결과표명,소제비적TiN/Ti다층막층상결구청석,여기저결합량호,조제비대다층막적경도화마손특성영향교대,이대마찰계수적영향각소명현.결합실험결과,토론료경도여탄성모량적비치(H/E치)대TiN/Ti다층막내마성적영향.
