功能材料与器件学报
功能材料與器件學報
공능재료여기건학보
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
2008年
4期
799-803
,共5页
田招兵%张永刚%李爱珍%顾溢
田招兵%張永剛%李愛珍%顧溢
전초병%장영강%리애진%고일
InGaAs/InAlAs%湿法腐蚀%异质结
InGaAs/InAlAs%濕法腐蝕%異質結
InGaAs/InAlAs%습법부식%이질결
采用了H3PO4/H2O2系化学腐蚀液对GSMBE外延的InGaAs/InP和InAIAs/InP材料湿法腐蚀特性进行了研究,研究了不同浓度和配比对于腐蚀速率和形貌影响.结果表明该腐蚀液体系具有良好的均匀性,腐蚀速率随浓度呈指数关系,表面形貌基本不受浓度影响.在增加腐蚀液中双氧水含量时,腐蚀速率先增大后减小,表面形貌良好;增加磷酸浓度腐蚀速率亦有增大趋势,表面出现尖锥状小丘.并对腐蚀液配比变化对腐蚀特性影响及腐蚀机理进行了讨论分析.
採用瞭H3PO4/H2O2繫化學腐蝕液對GSMBE外延的InGaAs/InP和InAIAs/InP材料濕法腐蝕特性進行瞭研究,研究瞭不同濃度和配比對于腐蝕速率和形貌影響.結果錶明該腐蝕液體繫具有良好的均勻性,腐蝕速率隨濃度呈指數關繫,錶麵形貌基本不受濃度影響.在增加腐蝕液中雙氧水含量時,腐蝕速率先增大後減小,錶麵形貌良好;增加燐痠濃度腐蝕速率亦有增大趨勢,錶麵齣現尖錐狀小丘.併對腐蝕液配比變化對腐蝕特性影響及腐蝕機理進行瞭討論分析.
채용료H3PO4/H2O2계화학부식액대GSMBE외연적InGaAs/InP화InAIAs/InP재료습법부식특성진행료연구,연구료불동농도화배비대우부식속솔화형모영향.결과표명해부식액체계구유량호적균균성,부식속솔수농도정지수관계,표면형모기본불수농도영향.재증가부식액중쌍양수함량시,부식속솔선증대후감소,표면형모량호;증가린산농도부식속솔역유증대추세,표면출현첨추상소구.병대부식액배비변화대부식특성영향급부식궤리진행료토론분석.
