光电子·激光
光電子·激光
광전자·격광
JOURNAL OF OPTOECTRONICS·LASER
2008年
7期
931-933
,共3页
匡翠方%冯其波%张斌%张志峰%陈士谦
劻翠方%馮其波%張斌%張誌峰%陳士謙
광취방%풍기파%장빈%장지봉%진사겸
直线度误差%分辨率%激光测量%组合透镜%反射
直線度誤差%分辨率%激光測量%組閤透鏡%反射
직선도오차%분변솔%격광측량%조합투경%반사
利用测量光线的多次反射和组合透镜的方法使测量系统的分辨率相对于用探测器直接探测分辨率提高了8倍.实验结果表明:在二维直线度测量范围为±100 μm内,测量系统与Renishaw ML10激光干涉仪比对结果的线性相关度为0.999 7,对应点的标准偏差优于0.1 μm.
利用測量光線的多次反射和組閤透鏡的方法使測量繫統的分辨率相對于用探測器直接探測分辨率提高瞭8倍.實驗結果錶明:在二維直線度測量範圍為±100 μm內,測量繫統與Renishaw ML10激光榦涉儀比對結果的線性相關度為0.999 7,對應點的標準偏差優于0.1 μm.
이용측량광선적다차반사화조합투경적방법사측량계통적분변솔상대우용탐측기직접탐측분변솔제고료8배.실험결과표명:재이유직선도측량범위위±100 μm내,측량계통여Renishaw ML10격광간섭의비대결과적선성상관도위0.999 7,대응점적표준편차우우0.1 μm.
