光学学报
光學學報
광학학보
ACTA OPTICA SINICA
2009年
8期
2333-2337
,共5页
陶春先%赵元安%贺洪波%邵建达
陶春先%趙元安%賀洪波%邵建達
도춘선%조원안%하홍파%소건체
光学薄膜%吸收测量%光热效应%图像锁相
光學薄膜%吸收測量%光熱效應%圖像鎖相
광학박막%흡수측량%광열효응%도상쇄상
从理论和应用两方面对光学薄膜吸收缺陷的检测方法进行了研究.基于CCD摄像机的网像锁相技术,提出了不同于传统逐点扫描方法的多通道薄膜吸收检测方法.基于逐点扫描法和图像检测法,分别计算了大区域内薄膜单点缺陷所对应的吸收分布,结果证明了图像法应用于较大口径薄膜元件吸收检测的可行性.计算和实验表明:相对于逐点法,图像法测量薄膜速度可以提高上百倍,避免了逐点扫描法中耗时长、效率低的不足,扩展了光热技术在大口径镀膜光学元件中的应用.
從理論和應用兩方麵對光學薄膜吸收缺陷的檢測方法進行瞭研究.基于CCD攝像機的網像鎖相技術,提齣瞭不同于傳統逐點掃描方法的多通道薄膜吸收檢測方法.基于逐點掃描法和圖像檢測法,分彆計算瞭大區域內薄膜單點缺陷所對應的吸收分佈,結果證明瞭圖像法應用于較大口徑薄膜元件吸收檢測的可行性.計算和實驗錶明:相對于逐點法,圖像法測量薄膜速度可以提高上百倍,避免瞭逐點掃描法中耗時長、效率低的不足,擴展瞭光熱技術在大口徑鍍膜光學元件中的應用.
종이론화응용량방면대광학박막흡수결함적검측방법진행료연구.기우CCD섭상궤적망상쇄상기술,제출료불동우전통축점소묘방법적다통도박막흡수검측방법.기우축점소묘법화도상검측법,분별계산료대구역내박막단점결함소대응적흡수분포,결과증명료도상법응용우교대구경박막원건흡수검측적가행성.계산화실험표명:상대우축점법,도상법측량박막속도가이제고상백배,피면료축점소묘법중모시장、효솔저적불족,확전료광열기술재대구경도막광학원건중적응용.
