稀有金属材料与工程
稀有金屬材料與工程
희유금속재료여공정
RARE METAL MATERIALS AND ENGINEERNG
2011年
1期
165-168
,共4页
付志强%王成彪%周家斌%高功申%王伟%彭志坚%于翔
付誌彊%王成彪%週傢斌%高功申%王偉%彭誌堅%于翔
부지강%왕성표%주가빈%고공신%왕위%팽지견%우상
Ni-AlN%复合膜%选择性吸收涂层%中频反应溅射
Ni-AlN%複閤膜%選擇性吸收塗層%中頻反應濺射
Ni-AlN%복합막%선택성흡수도층%중빈반응천사
探讨Ni-AlN复合膜和渐变Ni-AlN选择性吸收涂层的中频溅射技术.结果表明:随着镍靶电流增加和铝靶电流减小,铝靶溅射由金属模式向反应模式转变对应的临界氮气流量降低,制备的Ni-AlN复合膜中镍含量增加,铝含量和氮/铝原子比减少,更容易产生游离铝.随着单层复合材料吸收层沉积时间的增加,Ni-AlN选择性吸收涂层由梯度渐变结构变成多层膜结构,在可见光范围的反射率降低;当单层复合材料吸收层沉积时间为10 min时,Ni-AlN选择性涂层在可见光范围的反射率约为10%,具有良好的光谱选择性.
探討Ni-AlN複閤膜和漸變Ni-AlN選擇性吸收塗層的中頻濺射技術.結果錶明:隨著鎳靶電流增加和鋁靶電流減小,鋁靶濺射由金屬模式嚮反應模式轉變對應的臨界氮氣流量降低,製備的Ni-AlN複閤膜中鎳含量增加,鋁含量和氮/鋁原子比減少,更容易產生遊離鋁.隨著單層複閤材料吸收層沉積時間的增加,Ni-AlN選擇性吸收塗層由梯度漸變結構變成多層膜結構,在可見光範圍的反射率降低;噹單層複閤材料吸收層沉積時間為10 min時,Ni-AlN選擇性塗層在可見光範圍的反射率約為10%,具有良好的光譜選擇性.
탐토Ni-AlN복합막화점변Ni-AlN선택성흡수도층적중빈천사기술.결과표명:수착얼파전류증가화려파전류감소,려파천사유금속모식향반응모식전변대응적림계담기류량강저,제비적Ni-AlN복합막중얼함량증가,려함량화담/려원자비감소,경용역산생유리려.수착단층복합재료흡수층침적시간적증가,Ni-AlN선택성흡수도층유제도점변결구변성다층막결구,재가견광범위적반사솔강저;당단층복합재료흡수층침적시간위10 min시,Ni-AlN선택성도층재가견광범위적반사솔약위10%,구유량호적광보선택성.
