河北师范大学学报（自然科学版）
河北師範大學學報（自然科學版）
하북사범대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF HEBEI NORMAL UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE)
2012年
1期
41-44
,共4页
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N掺杂SiC薄膜%室温铁磁性%磁控溅射
N摻雜SiC薄膜%室溫鐵磁性%磁控濺射
N참잡SiC박막%실온철자성%자공천사
采用磁控溅射技术制备了N掺杂SiC薄膜,利用X线衍射仪、傅里叶红外光谱仪、物理特性测试系统对薄膜成分、结构、磁性进行了表征.结果表明,N掺杂SiC薄膜具有室温铁磁性,N掺杂含量对薄膜的室温铁磁性具有很大的影响,薄膜室温铁磁性可能是由于N替代C来控制Si空位缺陷的电荷态和自旋极化产生的.
採用磁控濺射技術製備瞭N摻雜SiC薄膜,利用X線衍射儀、傅裏葉紅外光譜儀、物理特性測試繫統對薄膜成分、結構、磁性進行瞭錶徵.結果錶明,N摻雜SiC薄膜具有室溫鐵磁性,N摻雜含量對薄膜的室溫鐵磁性具有很大的影響,薄膜室溫鐵磁性可能是由于N替代C來控製Si空位缺陷的電荷態和自鏇極化產生的.
채용자공천사기술제비료N참잡SiC박막,이용X선연사의、부리협홍외광보의、물리특성측시계통대박막성분、결구、자성진행료표정.결과표명,N참잡SiC박막구유실온철자성,N참잡함량대박막적실온철자성구유흔대적영향,박막실온철자성가능시유우N체대C래공제Si공위결함적전하태화자선겁화산생적.
