材料导报
材料導報
재료도보
MATERIALS REVIEW
2012年
12期
90-92
,共3页
何洋洋%张贵锋%侯晓多%曹保胜
何洋洋%張貴鋒%侯曉多%曹保勝
하양양%장귀봉%후효다%조보성
类金刚石薄膜%电化学沉积拉%曼光谱%傅里叶变换红外光谱
類金剛石薄膜%電化學沉積拉%曼光譜%傅裏葉變換紅外光譜
류금강석박막%전화학침적랍%만광보%부리협변환홍외광보
采用电化学方法,以分析纯的异丙醇溶液作为碳源,低温(60～70℃)常压条件下,在(100)硅片上沉积了类金刚石薄膜.利用扫描电子显微镜( SEM)、原子力显微镜(AFM)、拉曼光谱仪(Raman)和傅里叶变换红外光谱仪(FTIR)表征了薄膜的表面形貌和结构.结果表明,电解异丙醇溶液可以获得表面均匀致密且sp3碳含量较高的含氢类金刚石薄膜.
採用電化學方法,以分析純的異丙醇溶液作為碳源,低溫(60～70℃)常壓條件下,在(100)硅片上沉積瞭類金剛石薄膜.利用掃描電子顯微鏡( SEM)、原子力顯微鏡(AFM)、拉曼光譜儀(Raman)和傅裏葉變換紅外光譜儀(FTIR)錶徵瞭薄膜的錶麵形貌和結構.結果錶明,電解異丙醇溶液可以穫得錶麵均勻緻密且sp3碳含量較高的含氫類金剛石薄膜.
채용전화학방법,이분석순적이병순용액작위탄원,저온(60～70℃)상압조건하,재(100)규편상침적료류금강석박막.이용소묘전자현미경( SEM)、원자력현미경(AFM)、랍만광보의(Raman)화부리협변환홍외광보의(FTIR)표정료박막적표면형모화결구.결과표명,전해이병순용액가이획득표면균균치밀차sp3탄함량교고적함경류금강석박막.
