机械强度
機械彊度
궤계강도
JOURNAL OF MECHANICAL STRENGTH
2003年
4期
395-400
,共6页
宗登刚%王钻开%陆德仁%王聪和
宗登剛%王鑽開%陸德仁%王聰和
종등강%왕찬개%륙덕인%왕총화
微电子机械系统%微桥%低压化学气相淀积%氮化硅%弹性模量%残余应力%弯曲强度
微電子機械繫統%微橋%低壓化學氣相澱積%氮化硅%彈性模量%殘餘應力%彎麯彊度
미전자궤계계통%미교%저압화학기상정적%담화규%탄성모량%잔여응력%만곡강도
用微机械悬桥法研究低应力氮化硅薄膜的力学性能.对符合弹性验则的微桥进行测试,在考虑衬底变形的基础上,利用最小二乘法对其载荷-挠度曲线进行拟合,得到低应力low pressure chemical vapour deposited (LPCVD)氮化硅的弹性模量为314.0 GPa±29.2 GPa, 残余应力为265.0 MPa±34.1 MPa.探讨梯形横截面对弯曲强度计算和破坏发生位置的影响,得到低应力氮化硅的弯曲强度为6.9 GPa±1.1 GPa.对微桥法测量误差的分析表明,衬底变形、微桥长度和厚度的测量精度对最终力学特性的拟合结果影响最大.
用微機械懸橋法研究低應力氮化硅薄膜的力學性能.對符閤彈性驗則的微橋進行測試,在攷慮襯底變形的基礎上,利用最小二乘法對其載荷-撓度麯線進行擬閤,得到低應力low pressure chemical vapour deposited (LPCVD)氮化硅的彈性模量為314.0 GPa±29.2 GPa, 殘餘應力為265.0 MPa±34.1 MPa.探討梯形橫截麵對彎麯彊度計算和破壞髮生位置的影響,得到低應力氮化硅的彎麯彊度為6.9 GPa±1.1 GPa.對微橋法測量誤差的分析錶明,襯底變形、微橋長度和厚度的測量精度對最終力學特性的擬閤結果影響最大.
용미궤계현교법연구저응력담화규박막적역학성능.대부합탄성험칙적미교진행측시,재고필츤저변형적기출상,이용최소이승법대기재하-뇨도곡선진행의합,득도저응력low pressure chemical vapour deposited (LPCVD)담화규적탄성모량위314.0 GPa±29.2 GPa, 잔여응력위265.0 MPa±34.1 MPa.탐토제형횡절면대만곡강도계산화파배발생위치적영향,득도저응력담화규적만곡강도위6.9 GPa±1.1 GPa.대미교법측량오차적분석표명,츤저변형、미교장도화후도적측량정도대최종역학특성적의합결과영향최대.
