光学仪器
光學儀器
광학의기
OPTICAL INSTRUMENTS
2006年
4期
124-128
,共5页
王少伟%李明%夏长生%王海千%陈效双%陆卫
王少偉%李明%夏長生%王海韆%陳效雙%陸衛
왕소위%리명%하장생%왕해천%진효쌍%륙위
组合%镀膜%集成%滤光片%列阵
組閤%鍍膜%集成%濾光片%列陣
조합%도막%집성%려광편%렬진
为实现集成滤光片列阵在单片衬底上的高效制备,提出组合镀膜法,通过磁控反应溅射,以Nb2O5和SiO2为介质材料,仅通过8次镀膜就成功制备出了集成64通道的滤光片面阵.滤光片面阵的总体尺寸只有12mm×12mm,各个滤光片通道基本呈线性分布在720.5nm～877.2nm之间,带宽在1.82nm～3.92nm之间.结果表明,组合镀膜法是一种高效的集成滤光片列阵制备方法.
為實現集成濾光片列陣在單片襯底上的高效製備,提齣組閤鍍膜法,通過磁控反應濺射,以Nb2O5和SiO2為介質材料,僅通過8次鍍膜就成功製備齣瞭集成64通道的濾光片麵陣.濾光片麵陣的總體呎吋隻有12mm×12mm,各箇濾光片通道基本呈線性分佈在720.5nm～877.2nm之間,帶寬在1.82nm～3.92nm之間.結果錶明,組閤鍍膜法是一種高效的集成濾光片列陣製備方法.
위실현집성려광편렬진재단편츤저상적고효제비,제출조합도막법,통과자공반응천사,이Nb2O5화SiO2위개질재료,부통과8차도막취성공제비출료집성64통도적려광편면진.려광편면진적총체척촌지유12mm×12mm,각개려광편통도기본정선성분포재720.5nm～877.2nm지간,대관재1.82nm～3.92nm지간.결과표명,조합도막법시일충고효적집성려광편렬진제비방법.
