中国激光
中國激光
중국격광
CHINESE JOURNAL OF LASERS
2006年
5期
667-672
,共6页
朱勇建%刘立人%栾竹%鲁伟%阳庆国%李大汕
硃勇建%劉立人%欒竹%魯偉%暘慶國%李大汕
주용건%류립인%란죽%로위%양경국%리대산
测量%质量图%移相法%解包裹相位%调制度
測量%質量圖%移相法%解包裹相位%調製度
측량%질량도%이상법%해포과상위%조제도
在移相法测量光学波面或物体形貌过程中,相位解包裹是条纹自动分析中的关键技术,而质量图对解包裹相位算法起着至关重要的作用.用计算机模拟干涉图获得相位导数偏差质量图,指出其在标识相位数据质量方面的不足,并根据调制度结合相位梯度构造出新的质量图(称之为调制度-相位梯度偏差质量图)来弥补此缺陷.再以新质量图数据为权值,采用加权最小二乘解包裹算法验证新质量图的可靠性.最后通过实验数据,比较新质量图和相位导数偏差质量图在解包裹相位算法中的作用,得到新质量图的解相结果均方根(RMS)值为2.652 rad,而相位导数偏差质量图的解相结果均方根值为5.151 rad,由此证明前者有更好的可靠性.
在移相法測量光學波麵或物體形貌過程中,相位解包裹是條紋自動分析中的關鍵技術,而質量圖對解包裹相位算法起著至關重要的作用.用計算機模擬榦涉圖穫得相位導數偏差質量圖,指齣其在標識相位數據質量方麵的不足,併根據調製度結閤相位梯度構造齣新的質量圖(稱之為調製度-相位梯度偏差質量圖)來瀰補此缺陷.再以新質量圖數據為權值,採用加權最小二乘解包裹算法驗證新質量圖的可靠性.最後通過實驗數據,比較新質量圖和相位導數偏差質量圖在解包裹相位算法中的作用,得到新質量圖的解相結果均方根(RMS)值為2.652 rad,而相位導數偏差質量圖的解相結果均方根值為5.151 rad,由此證明前者有更好的可靠性.
재이상법측량광학파면혹물체형모과정중,상위해포과시조문자동분석중적관건기술,이질량도대해포과상위산법기착지관중요적작용.용계산궤모의간섭도획득상위도수편차질량도,지출기재표식상위수거질량방면적불족,병근거조제도결합상위제도구조출신적질량도(칭지위조제도-상위제도편차질량도)래미보차결함.재이신질량도수거위권치,채용가권최소이승해포과산법험증신질량도적가고성.최후통과실험수거,비교신질량도화상위도수편차질량도재해포과상위산법중적작용,득도신질량도적해상결과균방근(RMS)치위2.652 rad,이상위도수편차질량도적해상결과균방근치위5.151 rad,유차증명전자유경호적가고성.
