CAJ | 학술논문

采用Al-Ti镶嵌复合靶在Ar、N2和O2混合气体中反应溅射制备了一系列(Al,Ti)(O,N)涂层.并采用EDS、XRD、TEM和微力学探针研究了薄膜的化学成分、微结构和力学性能.结果表明,随氧分压的提高,涂层中氧含量逐步增加,氮含量相应减少,(Al+Ti):(O+N)的化学计量比仍约为1:1,涂层保持与(Al,Ti)N涂层相同的NaCl结构.低氧含量时薄膜在(111)方向上择优生长,随着氧含量的提高,涂层生长的择优取向发生改变,高氧含量薄膜样品呈现强烈(200)织构的柱状晶.与此同时,(Al,Ti)(O,N)涂层的硬度和弹性模量也仍保持在与(Al,Ti)N涂层相当的35GPa和370～420GPa的高值.由于涂层中形成了相当含量的氧化物,这类涂层的抗氧化能力有望得到提高.
채용Al-Ti양감복합파재Ar、N2화O2혼합기체중반응천사제비료일계렬(Al,Ti)(O,N)도층.병채용EDS、XRD、TEM화미역학탐침연구료박막적화학성분、미결구화역학성능.결과표명,수양분압적제고,도층중양함량축보증가,담함량상응감소,(Al+Ti):(O+N)적화학계량비잉약위1:1,도층보지여(Al,Ti)N도층상동적NaCl결구.저양함량시박막재(111)방향상택우생장,수착양함량적제고,도층생장적택우취향발생개변,고양함량박막양품정현강렬(200)직구적주상정.여차동시,(Al,Ti)(O,N)도층적경도화탄성모량야잉보지재여(Al,Ti)N도층상당적35GPa화370～420GPa적고치.유우도층중형성료상당함량적양화물,저류도층적항양화능력유망득도제고.