光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2007年
7期
1016-1020
,共5页
周洪军%钟鹏飞%郑津津%霍同林%张国斌%戚泽明
週洪軍%鐘鵬飛%鄭津津%霍同林%張國斌%慼澤明
주홍군%종붕비%정진진%곽동림%장국빈%척택명
同步辐射%高次谐波抑制%A1滤片
同步輻射%高次諧波抑製%A1濾片
동보복사%고차해파억제%A1려편
利用840 1/mm的金膜透射光栅分光和AXUVl00G光电二极管(PD)探测器研究了不同厚度的Al滤片对光谱辐射标准和计量线(U27)球面光栅单色器(SGM)分支17～33 nm波段高次谐波的抑制情况.结果表明,A1滤片厚为400nm时,在17～33 nm波段有较好的抑制效果且能保证探测器的信号强度,高次谐波信号强度分量小于2%.经过探测器量子效率修正后,高次谐波分量小于0.6%,这对多层膜反射率的定标及探测器定标有着重要的意义.
利用840 1/mm的金膜透射光柵分光和AXUVl00G光電二極管(PD)探測器研究瞭不同厚度的Al濾片對光譜輻射標準和計量線(U27)毬麵光柵單色器(SGM)分支17～33 nm波段高次諧波的抑製情況.結果錶明,A1濾片厚為400nm時,在17～33 nm波段有較好的抑製效果且能保證探測器的信號彊度,高次諧波信號彊度分量小于2%.經過探測器量子效率脩正後,高次諧波分量小于0.6%,這對多層膜反射率的定標及探測器定標有著重要的意義.
이용840 1/mm적금막투사광책분광화AXUVl00G광전이겁관(PD)탐측기연구료불동후도적Al려편대광보복사표준화계량선(U27)구면광책단색기(SGM)분지17～33 nm파단고차해파적억제정황.결과표명,A1려편후위400nm시,재17～33 nm파단유교호적억제효과차능보증탐측기적신호강도,고차해파신호강도분량소우2%.경과탐측기양자효솔수정후,고차해파분량소우0.6%,저대다층막반사솔적정표급탐측기정표유착중요적의의.
