传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2008年
4期
667-671
,共5页
汤雅权%张海涛%马盛林%于晓梅
湯雅權%張海濤%馬盛林%于曉梅
탕아권%장해도%마성림%우효매
单片集成%MEMS%SOI%仪用放大器
單片集成%MEMS%SOI%儀用放大器
단편집성%MEMS%SOI%의용방대기
提出了一种基于SOI 技术的微悬臂梁传感器集成化方案,并从传感器信号调理电路的设计和集成化工艺设计方面论证了该方案的可行性.微悬臂梁传感器集成化系统主要包括惠斯通电桥阵列以及微悬臂梁传感器的信号调理电路.信号调理电路部分包括温补电流源、时分多路选择器和两级仪用放大器.测量的结果证实了我们单片集成的可行性.
提齣瞭一種基于SOI 技術的微懸臂樑傳感器集成化方案,併從傳感器信號調理電路的設計和集成化工藝設計方麵論證瞭該方案的可行性.微懸臂樑傳感器集成化繫統主要包括惠斯通電橋陣列以及微懸臂樑傳感器的信號調理電路.信號調理電路部分包括溫補電流源、時分多路選擇器和兩級儀用放大器.測量的結果證實瞭我們單片集成的可行性.
제출료일충기우SOI 기술적미현비량전감기집성화방안,병종전감기신호조리전로적설계화집성화공예설계방면론증료해방안적가행성.미현비량전감기집성화계통주요포괄혜사통전교진렬이급미현비량전감기적신호조리전로.신호조리전로부분포괄온보전류원、시분다로선택기화량급의용방대기.측량적결과증실료아문단편집성적가행성.
