光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2010年
11期
2390-2397
,共8页
点衍射%波相差%傅里叶变换%位相复原%迭代算法
點衍射%波相差%傅裏葉變換%位相複原%迭代算法
점연사%파상차%부리협변환%위상복원%질대산법
提出一种检测点衍射干涉仪关键部件针孔所产生的衍射光学波前的方法.介绍了点衍射波前的产生原理,分析了小孔质量状态、照明光路调整状态与波前各个像差分量之间的关系.基于信息光学基础理论,采用傅里叶变换和迭代算法,采集针孔衍射图像并进行计算分析,实现对衍射波前的位相复原以获得波前信息.阐述了测试方法的理论依据和计算公式,应用研制的位相复原分析计算软件测试并分析了实际采集的点衍射图像,通过15次的迭代,输出的位相值逐渐收敛,图像误差因子下降到0.12.目前,该方法已用于对针孔的筛选和针孔照明系统的装调中,实验结果证明了该测试方法的可行性.
提齣一種檢測點衍射榦涉儀關鍵部件針孔所產生的衍射光學波前的方法.介紹瞭點衍射波前的產生原理,分析瞭小孔質量狀態、照明光路調整狀態與波前各箇像差分量之間的關繫.基于信息光學基礎理論,採用傅裏葉變換和迭代算法,採集針孔衍射圖像併進行計算分析,實現對衍射波前的位相複原以穫得波前信息.闡述瞭測試方法的理論依據和計算公式,應用研製的位相複原分析計算軟件測試併分析瞭實際採集的點衍射圖像,通過15次的迭代,輸齣的位相值逐漸收斂,圖像誤差因子下降到0.12.目前,該方法已用于對針孔的篩選和針孔照明繫統的裝調中,實驗結果證明瞭該測試方法的可行性.
제출일충검측점연사간섭의관건부건침공소산생적연사광학파전적방법.개소료점연사파전적산생원리,분석료소공질량상태、조명광로조정상태여파전각개상차분량지간적관계.기우신식광학기출이론,채용부리협변환화질대산법,채집침공연사도상병진행계산분석,실현대연사파전적위상복원이획득파전신식.천술료측시방법적이론의거화계산공식,응용연제적위상복원분석계산연건측시병분석료실제채집적점연사도상,통과15차적질대,수출적위상치축점수렴,도상오차인자하강도0.12.목전,해방법이용우대침공적사선화침공조명계통적장조중,실험결과증명료해측시방법적가행성.
