苏州大学学报（自然科学版）
囌州大學學報（自然科學版）
소주대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF SUZHOU UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE)
2010年
2期
66-72
,共7页
王培君%江美福%辛煜%杜记龙%戴永丰
王培君%江美福%辛煜%杜記龍%戴永豐
왕배군%강미복%신욱%두기룡%대영봉
摩擦性能%射频输入功率%反应磁控溅射%氟化类金刚石薄膜
摩抆性能%射頻輸入功率%反應磁控濺射%氟化類金剛石薄膜
마찰성능%사빈수입공솔%반응자공천사%불화류금강석박막
以高纯石墨做靶、CHF3/Ar为源气体采用磁控溅射法在不同射频功率条件下制备了氟化类金刚石(F-DLC)薄膜.利用原子力显微镜、纳米压痕、拉曼光谱、红外光谱和摩擦磨损测试仪对薄膜的表面形貌、硬度、键态结构以及摩擦学性能作了具体分析.测试结果表明,制备的薄膜整体较均匀致密,表现出了良好的抗磨减摩性能.当射频功率为120W时,薄膜的摩擦因数低至0.41左右.AFM和纳米压痕显示,薄膜摩擦因数受表面粗糙度和硬度影响,但并非成单调对应关系.拉曼和红外透射光谱表明,随着功率的增加,薄膜中的芳香环比例增加,sp3杂化含量减小,结果显示,CF2反振动强度的减弱和C-C链中较少量H原子的键入都可能得到相对较低的薄膜摩擦因数.
以高純石墨做靶、CHF3/Ar為源氣體採用磁控濺射法在不同射頻功率條件下製備瞭氟化類金剛石(F-DLC)薄膜.利用原子力顯微鏡、納米壓痕、拉曼光譜、紅外光譜和摩抆磨損測試儀對薄膜的錶麵形貌、硬度、鍵態結構以及摩抆學性能作瞭具體分析.測試結果錶明,製備的薄膜整體較均勻緻密,錶現齣瞭良好的抗磨減摩性能.噹射頻功率為120W時,薄膜的摩抆因數低至0.41左右.AFM和納米壓痕顯示,薄膜摩抆因數受錶麵粗糙度和硬度影響,但併非成單調對應關繫.拉曼和紅外透射光譜錶明,隨著功率的增加,薄膜中的芳香環比例增加,sp3雜化含量減小,結果顯示,CF2反振動彊度的減弱和C-C鏈中較少量H原子的鍵入都可能得到相對較低的薄膜摩抆因數.
이고순석묵주파、CHF3/Ar위원기체채용자공천사법재불동사빈공솔조건하제비료불화류금강석(F-DLC)박막.이용원자력현미경、납미압흔、랍만광보、홍외광보화마찰마손측시의대박막적표면형모、경도、건태결구이급마찰학성능작료구체분석.측시결과표명,제비적박막정체교균균치밀,표현출료량호적항마감마성능.당사빈공솔위120W시,박막적마찰인수저지0.41좌우.AFM화납미압흔현시,박막마찰인수수표면조조도화경도영향,단병비성단조대응관계.랍만화홍외투사광보표명,수착공솔적증가,박막중적방향배비례증가,sp3잡화함량감소,결과현시,CF2반진동강도적감약화C-C련중교소량H원자적건입도가능득도상대교저적박막마찰인수.
