传感器世界
傳感器世界
전감기세계
SENSOR WORLD
2011年
3期
20-23
,共4页
宋国庆%林金秋%张莉新%邹向光
宋國慶%林金鞦%張莉新%鄒嚮光
송국경%림금추%장리신%추향광
电容式压力传感器%蓝宝石单晶%C面(0001)取向蓝宝石%R面(1102)取向蓝宝石%半球形凹槽%中央电极内的无电极区
電容式壓力傳感器%藍寶石單晶%C麵(0001)取嚮藍寶石%R麵(1102)取嚮藍寶石%半毬形凹槽%中央電極內的無電極區
전용식압력전감기%람보석단정%C면(0001)취향람보석%R면(1102)취향람보석%반구형요조%중앙전겁내적무전겁구
介绍一种高精密、高稳定、线性度佳、结构简单的新型电容式蓝宝石压力传感器.以圆形c面(0001)取向蓝宝石片作为压力传感器的膜片和基片,并且采用两种方案改善普通电容式蓝宝石压力传感器的非线性特性.第一种方法是在一个基片中央区电极内制作一个圆形无金属电极区(圆形无电极区的直径与中央区电极的直径具有特定比率),提高线性度,改善灵敏度的一致性,但是它以降低传感器的灵敏度为代价的;第二种方法是在圆形基片表面中央区加工一个半球形凹槽,并且在该下凹区内不制作金属电极,能够牺牲很小的灵敏度或不降低灵敏度,换取较大的线性度提高和灵敏度一致性的改善.
介紹一種高精密、高穩定、線性度佳、結構簡單的新型電容式藍寶石壓力傳感器.以圓形c麵(0001)取嚮藍寶石片作為壓力傳感器的膜片和基片,併且採用兩種方案改善普通電容式藍寶石壓力傳感器的非線性特性.第一種方法是在一箇基片中央區電極內製作一箇圓形無金屬電極區(圓形無電極區的直徑與中央區電極的直徑具有特定比率),提高線性度,改善靈敏度的一緻性,但是它以降低傳感器的靈敏度為代價的;第二種方法是在圓形基片錶麵中央區加工一箇半毬形凹槽,併且在該下凹區內不製作金屬電極,能夠犧牲很小的靈敏度或不降低靈敏度,換取較大的線性度提高和靈敏度一緻性的改善.
개소일충고정밀、고은정、선성도가、결구간단적신형전용식람보석압력전감기.이원형c면(0001)취향람보석편작위압력전감기적막편화기편,병차채용량충방안개선보통전용식람보석압력전감기적비선성특성.제일충방법시재일개기편중앙구전겁내제작일개원형무금속전겁구(원형무전겁구적직경여중앙구전겁적직경구유특정비솔),제고선성도,개선령민도적일치성,단시타이강저전감기적령민도위대개적;제이충방법시재원형기편표면중앙구가공일개반구형요조,병차재해하요구내불제작금속전겁,능구희생흔소적령민도혹불강저령민도,환취교대적선성도제고화령민도일치성적개선.
