微细加工技术
微細加工技術
미세가공기술
MICROFABRICATION TECHNOLOGY
2004年
2期
47-50
,共4页
宋红强%陈延学%任妙娟%季刚%张云鹏
宋紅彊%陳延學%任妙娟%季剛%張雲鵬
송홍강%진연학%임묘연%계강%장운붕
磁控溅射%TiN%磁性薄膜%自旋电子学
磁控濺射%TiN%磁性薄膜%自鏇電子學
자공천사%TiN%자성박막%자선전자학
用射频磁控溅射技术制备了TiN掺Co的薄膜样品.400 ℃真空退火后,振动样品磁强计测量(VSM)表明,样品在室温下具有显著的铁磁性.其饱和磁化强度为2.93×108 A/m,饱和磁场强度约160 kA/m,矫顽力32 kA/m.超导量子干涉仪(SQUID)测量M-T曲线得出其居里温度在360 K以上,X射线衍射实验表明样品具有TiN样品的衍射峰.利用四探针测试仪测量电阻率得出ρ=4.824×10-5 Ω·m.
用射頻磁控濺射技術製備瞭TiN摻Co的薄膜樣品.400 ℃真空退火後,振動樣品磁彊計測量(VSM)錶明,樣品在室溫下具有顯著的鐵磁性.其飽和磁化彊度為2.93×108 A/m,飽和磁場彊度約160 kA/m,矯頑力32 kA/m.超導量子榦涉儀(SQUID)測量M-T麯線得齣其居裏溫度在360 K以上,X射線衍射實驗錶明樣品具有TiN樣品的衍射峰.利用四探針測試儀測量電阻率得齣ρ=4.824×10-5 Ω·m.
용사빈자공천사기술제비료TiN참Co적박막양품.400 ℃진공퇴화후,진동양품자강계측량(VSM)표명,양품재실온하구유현저적철자성.기포화자화강도위2.93×108 A/m,포화자장강도약160 kA/m,교완력32 kA/m.초도양자간섭의(SQUID)측량M-T곡선득출기거리온도재360 K이상,X사선연사실험표명양품구유TiN양품적연사봉.이용사탐침측시의측량전조솔득출ρ=4.824×10-5 Ω·m.
