传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2007年
1期
90-92,96
,共4页
胡明%吕宇强%颜海洋%吴淼
鬍明%呂宇彊%顏海洋%吳淼
호명%려우강%안해양%오묘
微机电系统%红外探测器%微桥%微悬臂
微機電繫統%紅外探測器%微橋%微懸臂
미궤전계통%홍외탐측기%미교%미현비
微机电系统(MEMS)技术是以实现机电一体化为目标的一项新兴技术,它在红外器件制作中的引入为非制冷红外探测器的实用化开辟了新的途径.目前,应用MEMS技术制作的主要有微测辐射热计微桥结构和微悬臂红外探测器双层悬臂结构2种.对它们各自的工作原理、组成结构、MEMS工艺实现以及发展方向作了较为详细的阐述.
微機電繫統(MEMS)技術是以實現機電一體化為目標的一項新興技術,它在紅外器件製作中的引入為非製冷紅外探測器的實用化開闢瞭新的途徑.目前,應用MEMS技術製作的主要有微測輻射熱計微橋結構和微懸臂紅外探測器雙層懸臂結構2種.對它們各自的工作原理、組成結構、MEMS工藝實現以及髮展方嚮作瞭較為詳細的闡述.
미궤전계통(MEMS)기술시이실현궤전일체화위목표적일항신흥기술,타재홍외기건제작중적인입위비제랭홍외탐측기적실용화개벽료신적도경.목전,응용MEMS기술제작적주요유미측복사열계미교결구화미현비홍외탐측기쌍층현비결구2충.대타문각자적공작원리、조성결구、MEMS공예실현이급발전방향작료교위상세적천술.
