传感器世界
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전감기세계
SENSOR WORLD
2008年
4期
34-37
,共4页
气敏元件%超微粒膜%甲烷%气体选择性%气体灵敏度%溅射
氣敏元件%超微粒膜%甲烷%氣體選擇性%氣體靈敏度%濺射
기민원건%초미립막%갑완%기체선택성%기체령민도%천사
介绍一种改良的气敏元件,在了解金属氧化物超微粒结晶所具方向性的特点之后,巧妙地使金属氧化物超微粒的大部分结晶在特定面方位状态下聚合的超微粒膜与电极接触.并用大于通常的气体压力进行溅射.如此制成的气敏元件气体选择性良好,从而解决了一直存在的选择性不佳的难题.
介紹一種改良的氣敏元件,在瞭解金屬氧化物超微粒結晶所具方嚮性的特點之後,巧妙地使金屬氧化物超微粒的大部分結晶在特定麵方位狀態下聚閤的超微粒膜與電極接觸.併用大于通常的氣體壓力進行濺射.如此製成的氣敏元件氣體選擇性良好,從而解決瞭一直存在的選擇性不佳的難題.
개소일충개량적기민원건,재료해금속양화물초미립결정소구방향성적특점지후,교묘지사금속양화물초미립적대부분결정재특정면방위상태하취합적초미립막여전겁접촉.병용대우통상적기체압력진행천사.여차제성적기민원건기체선택성량호,종이해결료일직존재적선택성불가적난제.
