真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2008年
z1期
26-28
,共3页
刘思鹏%亢原彬%王晖%李德军%邓湘云
劉思鵬%亢原彬%王暉%李德軍%鄧湘雲
류사붕%항원빈%왕휘%리덕군%산상운
射频磁控溅射%TiB2/TiAlN纳米多层膜%调制周期%硬度
射頻磁控濺射%TiB2/TiAlN納米多層膜%調製週期%硬度
사빈자공천사%TiB2/TiAlN납미다층막%조제주기%경도
利用射频磁控溅射技术,在室温下合成了具有纳米调制周期的TiB2/TiAlN多层膜.分别采用表面轮廓仪、纳米力学测试系统、多功能材料表面性能实验仪和XRD,分析了调制周期对TiB2/TiAlN纳米多层膜机械性能的影响.结果表明:大部分多层膜的纳米硬度和弹性模量值都高于两种个体材料混合相的值,在调制周期为25 nm时,多层膜体系的硬度超过了36GPa,性能达到较佳效果.
利用射頻磁控濺射技術,在室溫下閤成瞭具有納米調製週期的TiB2/TiAlN多層膜.分彆採用錶麵輪廓儀、納米力學測試繫統、多功能材料錶麵性能實驗儀和XRD,分析瞭調製週期對TiB2/TiAlN納米多層膜機械性能的影響.結果錶明:大部分多層膜的納米硬度和彈性模量值都高于兩種箇體材料混閤相的值,在調製週期為25 nm時,多層膜體繫的硬度超過瞭36GPa,性能達到較佳效果.
이용사빈자공천사기술,재실온하합성료구유납미조제주기적TiB2/TiAlN다층막.분별채용표면륜곽의、납미역학측시계통、다공능재료표면성능실험의화XRD,분석료조제주기대TiB2/TiAlN납미다층막궤계성능적영향.결과표명:대부분다층막적납미경도화탄성모량치도고우량충개체재료혼합상적치,재조제주기위25 nm시,다층막체계적경도초과료36GPa,성능체도교가효과.
