红外与激光工程
紅外與激光工程
홍외여격광공정
INFRARED AND LASER ENGINEERING
2006年
z2期
97-100
,共4页
陈伟%姚汉民%伍凡%朋汉林%吴时彬
陳偉%姚漢民%伍凡%朋漢林%吳時彬
진위%요한민%오범%붕한림%오시빈
功率谱密度%光学检测%空间频率
功率譜密度%光學檢測%空間頻率
공솔보밀도%광학검측%공간빈솔
光学元件加工质量的检测和评价是保证整个光学系统安全、正常运行的关键.波前功率谱密度(Power Spectral Density,PSD)能给出光学表面的空间频谱分布,反映高精度光学元件加工质量的特殊要求.在总结现有功率谱密度指标基础上,提出由于圆形口径的旋转对称性,可以采用径向波前功率谱密度来表征圆形口径光学元件波前频谱分布特征的方法,并给出了采用三坐标仪作为测试仪器测量圆形口径光学元件的波前功率谱密度时相应的数值计算方法.
光學元件加工質量的檢測和評價是保證整箇光學繫統安全、正常運行的關鍵.波前功率譜密度(Power Spectral Density,PSD)能給齣光學錶麵的空間頻譜分佈,反映高精度光學元件加工質量的特殊要求.在總結現有功率譜密度指標基礎上,提齣由于圓形口徑的鏇轉對稱性,可以採用徑嚮波前功率譜密度來錶徵圓形口徑光學元件波前頻譜分佈特徵的方法,併給齣瞭採用三坐標儀作為測試儀器測量圓形口徑光學元件的波前功率譜密度時相應的數值計算方法.
광학원건가공질량적검측화평개시보증정개광학계통안전、정상운행적관건.파전공솔보밀도(Power Spectral Density,PSD)능급출광학표면적공간빈보분포,반영고정도광학원건가공질량적특수요구.재총결현유공솔보밀도지표기출상,제출유우원형구경적선전대칭성,가이채용경향파전공솔보밀도래표정원형구경광학원건파전빈보분포특정적방법,병급출료채용삼좌표의작위측시의기측량원형구경광학원건적파전공솔보밀도시상응적수치계산방법.