传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2010年
7期
1-3,7
,共4页
王娟%吴义伯%张丛春%丁桂甫
王娟%吳義伯%張叢春%丁桂甫
왕연%오의백%장총춘%정계보
柔顺机构%双稳态%锁定机构%微机电系统
柔順機構%雙穩態%鎖定機構%微機電繫統
유순궤구%쌍은태%쇄정궤구%미궤전계통
由于柔顺机构和双稳态机构分别所具有的独特优势,已使柔顺双稳态机构成为目前国内外研究的新热点.综合论述了基于MEMS技术的柔顺双稳态机构的最新研究成果,根据柔顺双稳态机构的驱动机制,系统介绍了机械锁定型、电热锁定型、磁致锁定型、多耦合场锁定型等柔顺双稳态机构,针对其原理、性能及应用等各个方面进行了综合比较.最后展望了柔顺双稳态机构的研究前景和可能遇到的问题与挑战.
由于柔順機構和雙穩態機構分彆所具有的獨特優勢,已使柔順雙穩態機構成為目前國內外研究的新熱點.綜閤論述瞭基于MEMS技術的柔順雙穩態機構的最新研究成果,根據柔順雙穩態機構的驅動機製,繫統介紹瞭機械鎖定型、電熱鎖定型、磁緻鎖定型、多耦閤場鎖定型等柔順雙穩態機構,針對其原理、性能及應用等各箇方麵進行瞭綜閤比較.最後展望瞭柔順雙穩態機構的研究前景和可能遇到的問題與挑戰.
유우유순궤구화쌍은태궤구분별소구유적독특우세,이사유순쌍은태궤구성위목전국내외연구적신열점.종합논술료기우MEMS기술적유순쌍은태궤구적최신연구성과,근거유순쌍은태궤구적구동궤제,계통개소료궤계쇄정형、전열쇄정형、자치쇄정형、다우합장쇄정형등유순쌍은태궤구,침대기원리、성능급응용등각개방면진행료종합비교.최후전망료유순쌍은태궤구적연구전경화가능우도적문제여도전.
