原子能科学技术
原子能科學技術
원자능과학기술
ATOMIC ENERGY SCIENCE AND TECHNOLOGY
2011年
1期
90-93
,共4页
王梨兵%董海义%裴国玺%杨奇
王梨兵%董海義%裴國璽%楊奇
왕리병%동해의%배국새%양기
TiN膜%四极陶瓷真空盒%磁控溅射%绝缘体%长直管道
TiN膜%四極陶瓷真空盒%磁控濺射%絕緣體%長直管道
TiN막%사겁도자진공합%자공천사%절연체%장직관도
介绍了中国散裂中子源(CSNS)快循环同步加速器(RCS)中四极陶瓷真空盒内表面镀TiN膜技术与成膜系统装置.采用磁控溅射法,通过在绝缘体长直管道外表面安装金属屏幕罩来提供同轴电场的方法,解决了镀膜均匀性的问题.镀膜样品T、N比在0.9-1.1范围内,膜厚为100 nm左右,附着力达到要求,总体满足设计指标,完成了CSNS四极陶瓷真空盒样机的镀膜.
介紹瞭中國散裂中子源(CSNS)快循環同步加速器(RCS)中四極陶瓷真空盒內錶麵鍍TiN膜技術與成膜繫統裝置.採用磁控濺射法,通過在絕緣體長直管道外錶麵安裝金屬屏幕罩來提供同軸電場的方法,解決瞭鍍膜均勻性的問題.鍍膜樣品T、N比在0.9-1.1範圍內,膜厚為100 nm左右,附著力達到要求,總體滿足設計指標,完成瞭CSNS四極陶瓷真空盒樣機的鍍膜.
개소료중국산렬중자원(CSNS)쾌순배동보가속기(RCS)중사겁도자진공합내표면도TiN막기술여성막계통장치.채용자공천사법,통과재절연체장직관도외표면안장금속병막조래제공동축전장적방법,해결료도막균균성적문제.도막양품T、N비재0.9-1.1범위내,막후위100 nm좌우,부착력체도요구,총체만족설계지표,완성료CSNS사겁도자진공합양궤적도막.
