基于MEMS技术的SU-8仿昆虫微扑翼飞行器设计及制作
기우MEMS기술적SU-8방곤충미복익비행기설계급제작
Design and Fabrication of an SU-8 Biomimetic Flapping-wing Micro Air Vehicle by MEMS Technology
  • 万方数据
    机器人 궤기인
    ROBOT
    2011年 3期 366-370 ,共5页

    迟鹏程%张卫平%陈文元%李洪谊%孟坤%崔峰%刘武%吴校生

    지붕정%장위평%진문원%리홍의%맹곤%최봉%류무%오교생

    微扑翼飞行器%SU-8%MEMS%仿生机器人 微撲翼飛行器%SU-8%MEMS%倣生機器人
    미복익비행기%SU-8%MEMS%방생궤기인
    为研制一种轻质仿昆虫微扑翼飞行器,提出了采用微机电系统(MEMS)领域的SU-8光刻胶作为结构材料的制作方案.基于仿生学原理和微机电系统加工技术,设计微扑翼飞行器结构及MEMS 工艺方法.研究结果表明,该种结构设计及制作方案满足设计要求,为仿昆虫微扑翼飞行器的研制提供了一种很好的途径.
    위연제일충경질방곤충미복익비행기,제출료채용미궤전계통(MEMS)영역적SU-8광각효작위결구재료적제작방안.기우방생학원리화미궤전계통가공기술,설계미복익비행기결구급MEMS 공예방법.연구결과표명,해충결구설계급제작방안만족설계요구,위방곤충미복익비행기적연제제공료일충흔호적도경.
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