功能材料与器件学报
功能材料與器件學報
공능재료여기건학보
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
2003年
3期
362-368
,共7页
刘金华%黄如%张兴%周发龙
劉金華%黃如%張興%週髮龍
류금화%황여%장흥%주발룡
垂直沟道器件%硅台刻蚀%外延%MOSFET
垂直溝道器件%硅檯刻蝕%外延%MOSFET
수직구도기건%규태각식%외연%MOSFET
介绍了垂直沟道器件的常见结构和工艺,分析了垂直沟道器件的最新进展以及垂直沟道器件制作工艺中的最新技术,详细讨论了垂直沟道器件的性能,并分析了垂直沟道器件的优点以及存在的问题.
介紹瞭垂直溝道器件的常見結構和工藝,分析瞭垂直溝道器件的最新進展以及垂直溝道器件製作工藝中的最新技術,詳細討論瞭垂直溝道器件的性能,併分析瞭垂直溝道器件的優點以及存在的問題.
개소료수직구도기건적상견결구화공예,분석료수직구도기건적최신진전이급수직구도기건제작공예중적최신기술,상세토론료수직구도기건적성능,병분석료수직구도기건적우점이급존재적문제.
