0.2～1μm IC生产线中二手Stepper解决方案
0.2～1μm IC생산선중이수Stepper해결방안
Secand-Hand Stepper Solution in 0.2～1μm IC Fab
  • 万方数据
    电子工业专用设备 전자공업전용설비
    EQUIPMENT FOR ELECTRONIC PRODUCTS MANUFACTURING
    2005年 3期 34-37 ,共4页

    王作义%郑武

    왕작의%정무

    分辨率%IC生产线%二手Steppe r%解决方案 分辨率%IC生產線%二手Steppe r%解決方案
    분변솔%IC생산선%이수Steppe r%해결방안
    通过对国内IC生产线及其Stepper装备的现状、市场前景的分析,阐述了国内0.2～1μmIC生产线中二手Stepper解决方案.
    통과대국내IC생산선급기Stepper장비적현상、시장전경적분석,천술료국내0.2～1μmIC생산선중이수Stepper해결방안.
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