辽宁大学学报（自然科学版）
遼寧大學學報（自然科學版）
료녕대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF LIAONING UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE EDITION)
2006年
4期
289-291
,共3页
吴春瑜%卢雪梅%白永生%刘一婷%张馨芳
吳春瑜%盧雪梅%白永生%劉一婷%張馨芳
오춘유%로설매%백영생%류일정%장형방
扩散阻挡层%门极换向晶闸管%金属化
擴散阻擋層%門極換嚮晶閘管%金屬化
확산조당층%문겁환향정갑관%금속화
通过对多种阻挡层特性的分析,选定了熔点高、化学稳定性好、电阻率低的TiN薄膜作为门极换向晶闸管阳极的阻挡层.采用磁控溅射技术生长的TiN,经俄歇电子谱仪分析表明,TiN阻挡层系统能有效地阻挡硅和铝的相互扩散,可作为门极换向晶闸管阳极理想的阻挡层材料.
通過對多種阻擋層特性的分析,選定瞭鎔點高、化學穩定性好、電阻率低的TiN薄膜作為門極換嚮晶閘管暘極的阻擋層.採用磁控濺射技術生長的TiN,經俄歇電子譜儀分析錶明,TiN阻擋層繫統能有效地阻擋硅和鋁的相互擴散,可作為門極換嚮晶閘管暘極理想的阻擋層材料.
통과대다충조당층특성적분석,선정료용점고、화학은정성호、전조솔저적TiN박막작위문겁환향정갑관양겁적조당층.채용자공천사기술생장적TiN,경아헐전자보의분석표명,TiN조당층계통능유효지조당규화려적상호확산,가작위문겁환향정갑관양겁이상적조당층재료.
