金属学报
金屬學報
금속학보
ACTA METALLURGICA SINICA
2006年
9期
971-973
,共3页
袁慧敏%姜山%王文静%颜世申%萧淑琴
袁慧敏%薑山%王文靜%顏世申%蕭淑琴
원혜민%강산%왕문정%안세신%소숙금
巨磁阻抗效应%FeZrBNi三层膜%掺杂
巨磁阻抗效應%FeZrBNi三層膜%摻雜
거자조항효응%FeZrBNi삼층막%참잡
用射频溅射法在单晶硅衬底上制备了FeZrBNi/Ag/FeZrBNi三层膜,对制备态样品进行了磁阻抗测量.结果表明,样品纵向和横向的最大磁阻抗比分别为18%和31%,取得最大阻抗比的频率分别为7和8 MHz;在此频率下,样品的纵向和横向相对磁导率比分别达到153%和5117%.这表明掺Ni的FeZrB三层膜在制备态已具备优异的巨磁阻抗效应和软磁性能.同时还分析了薄膜样品的电阻、电抗分量和有效磁导率随频率的变化关系.
用射頻濺射法在單晶硅襯底上製備瞭FeZrBNi/Ag/FeZrBNi三層膜,對製備態樣品進行瞭磁阻抗測量.結果錶明,樣品縱嚮和橫嚮的最大磁阻抗比分彆為18%和31%,取得最大阻抗比的頻率分彆為7和8 MHz;在此頻率下,樣品的縱嚮和橫嚮相對磁導率比分彆達到153%和5117%.這錶明摻Ni的FeZrB三層膜在製備態已具備優異的巨磁阻抗效應和軟磁性能.同時還分析瞭薄膜樣品的電阻、電抗分量和有效磁導率隨頻率的變化關繫.
용사빈천사법재단정규츤저상제비료FeZrBNi/Ag/FeZrBNi삼층막,대제비태양품진행료자조항측량.결과표명,양품종향화횡향적최대자조항비분별위18%화31%,취득최대조항비적빈솔분별위7화8 MHz;재차빈솔하,양품적종향화횡향상대자도솔비분별체도153%화5117%.저표명참Ni적FeZrB삼층막재제비태이구비우이적거자조항효응화연자성능.동시환분석료박막양품적전조、전항분량화유효자도솔수빈솔적변화관계.
