黑龙江大学自然科学学报
黑龍江大學自然科學學報
흑룡강대학자연과학학보
JOURNAL OF NATURAL SCIENCE OF HEILONGJIANG UNIVERSITY
2007年
1期
136-140
,共5页
193nm光致抗蚀剂%光产酸剂%N-羟基马来海松酸酰亚胺磺酸酯%紫外吸收
193nm光緻抗蝕劑%光產痠劑%N-羥基馬來海鬆痠酰亞胺磺痠酯%紫外吸收
193nm광치항식제%광산산제%N-간기마래해송산선아알광산지%자외흡수
合成了几种N-羟基马来海松酸酰亚胺磺酸酯,它们在常用的溶剂中有良好的溶解性,且具有良好的热稳定性.以聚乙二醇做成膜树脂,测定了这些化合物在膜层中的紫外吸收强度,表明它们在193 nm处具有适当的吸收和良好的透明性.以254 nm低压汞灯作曝光光源,研究了这些化合物的光解性质和成像性质.
閤成瞭幾種N-羥基馬來海鬆痠酰亞胺磺痠酯,它們在常用的溶劑中有良好的溶解性,且具有良好的熱穩定性.以聚乙二醇做成膜樹脂,測定瞭這些化閤物在膜層中的紫外吸收彊度,錶明它們在193 nm處具有適噹的吸收和良好的透明性.以254 nm低壓汞燈作曝光光源,研究瞭這些化閤物的光解性質和成像性質.
합성료궤충N-간기마래해송산선아알광산지,타문재상용적용제중유량호적용해성,차구유량호적열은정성.이취을이순주성막수지,측정료저사화합물재막층중적자외흡수강도,표명타문재193 nm처구유괄당적흡수화량호적투명성.이254 nm저압홍등작폭광광원,연구료저사화합물적광해성질화성상성질.
