四川大学学报（自然科学版）
四川大學學報（自然科學版）
사천대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF SICHUAN UNIVERSITY（NATURAL SCIENCE EDITION）
2008年
1期
156-160
,共5页
何其荣%刘捍卫%夏云%朱旻昊
何其榮%劉捍衛%夏雲%硃旻昊
하기영%류한위%하운%주민호
微动磨损%温度%TiN/TiN+Si/TiN多层膜%等离子体增强化学气相沉积(PCVD)%钛合金
微動磨損%溫度%TiN/TiN+Si/TiN多層膜%等離子體增彊化學氣相沉積(PCVD)%鈦閤金
미동마손%온도%TiN/TiN+Si/TiN다층막%등리자체증강화학기상침적(PCVD)%태합금
用直流等离子体增强化学气相沉积(PCVD)方法在T225NG钛合金基体上制备出厚度约为6 μm的TiN/TiN+Si/TiN多层膜,重点研究了多层膜及钛合金基材在室温和高温条件下的微动磨损行为,采用激光共焦扫描显微镜测定磨损体积,用扫描电子显微镜观察磨痕微观形貌.结果表明:在室温(25 ℃)至400 ℃范围内,微动初期和稳定阶段多层膜的摩擦系数比钛合金基体低,磨损体积也比钛合金基材明显降低;多层膜磨损体积随着温度的升高而增大;多层膜可以显著降低钛合金基材的磨损; 多层膜的损伤主要表现为剥层和磨粒磨损形式.
用直流等離子體增彊化學氣相沉積(PCVD)方法在T225NG鈦閤金基體上製備齣厚度約為6 μm的TiN/TiN+Si/TiN多層膜,重點研究瞭多層膜及鈦閤金基材在室溫和高溫條件下的微動磨損行為,採用激光共焦掃描顯微鏡測定磨損體積,用掃描電子顯微鏡觀察磨痕微觀形貌.結果錶明:在室溫(25 ℃)至400 ℃範圍內,微動初期和穩定階段多層膜的摩抆繫數比鈦閤金基體低,磨損體積也比鈦閤金基材明顯降低;多層膜磨損體積隨著溫度的升高而增大;多層膜可以顯著降低鈦閤金基材的磨損; 多層膜的損傷主要錶現為剝層和磨粒磨損形式.
용직류등리자체증강화학기상침적(PCVD)방법재T225NG태합금기체상제비출후도약위6 μm적TiN/TiN+Si/TiN다층막,중점연구료다층막급태합금기재재실온화고온조건하적미동마손행위,채용격광공초소묘현미경측정마손체적,용소묘전자현미경관찰마흔미관형모.결과표명:재실온(25 ℃)지400 ℃범위내,미동초기화은정계단다층막적마찰계수비태합금기체저,마손체적야비태합금기재명현강저;다층막마손체적수착온도적승고이증대;다층막가이현저강저태합금기재적마손; 다층막적손상주요표현위박층화마립마손형식.
