中国稀土学报
中國稀土學報
중국희토학보
JOURNAL OF THE CHINESE RARE EARTH SOCIETY
2009年
2期
276-281
,共6页
杨旭东%李弢%古宏伟%汤梅
楊旭東%李弢%古宏偉%湯梅
양욱동%리도%고굉위%탕매
磁控溅射%316L不锈钢%涂层%热处理%膜基结合力%稀土
磁控濺射%316L不鏽鋼%塗層%熱處理%膜基結閤力%稀土
자공천사%316L불수강%도층%열처리%막기결합력%희토
采用磁控溅射的方法在316L不锈钢表面制备了氧化铒涂层.选用金属铒作为过渡层,研究了不同热处理温度对涂层相组成、表面形貌以及涂层与基底结合情况的影响.XRD,SEM及膜基结合力分析结果表明,带有过渡层的氧化铒涂层表面致密、均匀,退火处理使氧化铒结晶性能提高,经过800℃热处理,生成了金属间化合物ErFe3提高了涂层与基底的结合强度.绝缘电阻率测试结果表明.Er2O3涂层绝缘电阻率在1×1013～1×1015Ω·cm,绝缘性能良好.
採用磁控濺射的方法在316L不鏽鋼錶麵製備瞭氧化鉺塗層.選用金屬鉺作為過渡層,研究瞭不同熱處理溫度對塗層相組成、錶麵形貌以及塗層與基底結閤情況的影響.XRD,SEM及膜基結閤力分析結果錶明,帶有過渡層的氧化鉺塗層錶麵緻密、均勻,退火處理使氧化鉺結晶性能提高,經過800℃熱處理,生成瞭金屬間化閤物ErFe3提高瞭塗層與基底的結閤彊度.絕緣電阻率測試結果錶明.Er2O3塗層絕緣電阻率在1×1013～1×1015Ω·cm,絕緣性能良好.
채용자공천사적방법재316L불수강표면제비료양화이도층.선용금속이작위과도층,연구료불동열처리온도대도층상조성、표면형모이급도층여기저결합정황적영향.XRD,SEM급막기결합력분석결과표명,대유과도층적양화이도층표면치밀、균균,퇴화처리사양화이결정성능제고,경과800℃열처리,생성료금속간화합물ErFe3제고료도층여기저적결합강도.절연전조솔측시결과표명.Er2O3도층절연전조솔재1×1013～1×1015Ω·cm,절연성능량호.
