中国表面工程
中國錶麵工程
중국표면공정
CHINA SURFACE ENGINEERING
2009年
2期
20-25
,共6页
微纳米材料%摩擦磨损%润滑%自修复
微納米材料%摩抆磨損%潤滑%自脩複
미납미재료%마찰마손%윤활%자수복
采用多弧离子镀工艺在钛合金或低碳钢基材上制备TiN薄膜,研究了不同偏压及不同氮分压下制备的薄膜相结构、残余应力、膜/基体系硬度、膜/基结合及其摩擦磨损行为.结果表明:偏压影响TiN晶粒的择优取向,偏压绝对值越大则薄膜内部的残余应力也越大;偏压过高或过低都会降低薄膜与基材之间的结合强度,从而影响其摩擦学性能.氮分压上升,TiN熔滴粒度变大,Ti2N相减少,导致薄膜硬度提高;由过高或过低氮分压制备的膜/基体系在划痕试验中测得的临界载荷均较小;随着氮分压的增加,在试验范围内样品的摩擦因数下降但耐磨性并未获得预期的提高.
採用多弧離子鍍工藝在鈦閤金或低碳鋼基材上製備TiN薄膜,研究瞭不同偏壓及不同氮分壓下製備的薄膜相結構、殘餘應力、膜/基體繫硬度、膜/基結閤及其摩抆磨損行為.結果錶明:偏壓影響TiN晶粒的擇優取嚮,偏壓絕對值越大則薄膜內部的殘餘應力也越大;偏壓過高或過低都會降低薄膜與基材之間的結閤彊度,從而影響其摩抆學性能.氮分壓上升,TiN鎔滴粒度變大,Ti2N相減少,導緻薄膜硬度提高;由過高或過低氮分壓製備的膜/基體繫在劃痕試驗中測得的臨界載荷均較小;隨著氮分壓的增加,在試驗範圍內樣品的摩抆因數下降但耐磨性併未穫得預期的提高.
채용다호리자도공예재태합금혹저탄강기재상제비TiN박막,연구료불동편압급불동담분압하제비적박막상결구、잔여응력、막/기체계경도、막/기결합급기마찰마손행위.결과표명:편압영향TiN정립적택우취향,편압절대치월대칙박막내부적잔여응력야월대;편압과고혹과저도회강저박막여기재지간적결합강도,종이영향기마찰학성능.담분압상승,TiN용적립도변대,Ti2N상감소,도치박막경도제고;유과고혹과저담분압제비적막/기체계재화흔시험중측득적림계재하균교소;수착담분압적증가,재시험범위내양품적마찰인수하강단내마성병미획득예기적제고.
