发光学报
髮光學報
발광학보
CHINESE JOURNAL OF LUMINESCENCE
2011年
3期
272-276
,共5页
黄健%王林军%唐可%张继军%夏义本%鲁雄刚
黃健%王林軍%唐可%張繼軍%夏義本%魯雄剛
황건%왕림군%당가%장계군%하의본%로웅강
自支撑金刚石%氧化锌%探测器%异质结
自支撐金剛石%氧化鋅%探測器%異質結
자지탱금강석%양화자%탐측기%이질결
采用射频磁控溅射法在p型自支撑金刚石衬底上制备了高度c轴取向的n型氧化锌薄膜.研究了不同的溅射功率对氧化锌薄膜质量的影响.通过半导体特性分析系统测试了氧化锌/金刚石异质结的电流-电压特性,结果显示该异质结二极管具有良好的整流特性,开启电压约为1.6 V.在此基础上制备了结型紫外光探测器,并对其光电性能进行了研究.结果表明,在施加反向偏压的条件下,该探测器对紫外光具有明显的光响应.
採用射頻磁控濺射法在p型自支撐金剛石襯底上製備瞭高度c軸取嚮的n型氧化鋅薄膜.研究瞭不同的濺射功率對氧化鋅薄膜質量的影響.通過半導體特性分析繫統測試瞭氧化鋅/金剛石異質結的電流-電壓特性,結果顯示該異質結二極管具有良好的整流特性,開啟電壓約為1.6 V.在此基礎上製備瞭結型紫外光探測器,併對其光電性能進行瞭研究.結果錶明,在施加反嚮偏壓的條件下,該探測器對紫外光具有明顯的光響應.
채용사빈자공천사법재p형자지탱금강석츤저상제비료고도c축취향적n형양화자박막.연구료불동적천사공솔대양화자박막질량적영향.통과반도체특성분석계통측시료양화자/금강석이질결적전류-전압특성,결과현시해이질결이겁관구유량호적정류특성,개계전압약위1.6 V.재차기출상제비료결형자외광탐측기,병대기광전성능진행료연구.결과표명,재시가반향편압적조건하,해탐측기대자외광구유명현적광향응.
