真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2011年
3期
292-296
,共5页
孙海涛%李成武%陆慧%方彬%林贤%王艳南%潘孝仁
孫海濤%李成武%陸慧%方彬%林賢%王豔南%潘孝仁
손해도%리성무%륙혜%방빈%림현%왕염남%반효인
氧化锌薄膜%结构%温差电动势率%电阻率
氧化鋅薄膜%結構%溫差電動勢率%電阻率
양화자박막%결구%온차전동세솔%전조솔
以气体放电活化反应蒸发(GDARE)沉积法通过多次沉积制备不同厚度ZnO薄膜.原子力显微镜和X射线衍射测试分析表明,所得ZnO薄膜具有纳米颗粒多晶结构,粒径在30～70 nm,晶粒尺寸随薄膜厚度增加而增大,不同厚度的薄膜均具有高度的c轴取向性.由GDARE法沉积的ZnO薄膜具有较高的温差电动势率S(Seebeck系数),厚度200nm的薄膜在440 K附近S可达600μV/K.相同温度下,薄膜的温差电动势率S与电阻率ρ均随着膜厚的增加而减小.在考察了薄膜电阻率与温差电动势率的综合影响后,得到在440 K附近,厚度为600 nm的ZnO薄膜具有相对最优秀的热电性能.讨论了ZnO薄膜的表面电传导过程及温差电动势产生机制.
以氣體放電活化反應蒸髮(GDARE)沉積法通過多次沉積製備不同厚度ZnO薄膜.原子力顯微鏡和X射線衍射測試分析錶明,所得ZnO薄膜具有納米顆粒多晶結構,粒徑在30～70 nm,晶粒呎吋隨薄膜厚度增加而增大,不同厚度的薄膜均具有高度的c軸取嚮性.由GDARE法沉積的ZnO薄膜具有較高的溫差電動勢率S(Seebeck繫數),厚度200nm的薄膜在440 K附近S可達600μV/K.相同溫度下,薄膜的溫差電動勢率S與電阻率ρ均隨著膜厚的增加而減小.在攷察瞭薄膜電阻率與溫差電動勢率的綜閤影響後,得到在440 K附近,厚度為600 nm的ZnO薄膜具有相對最優秀的熱電性能.討論瞭ZnO薄膜的錶麵電傳導過程及溫差電動勢產生機製.
이기체방전활화반응증발(GDARE)침적법통과다차침적제비불동후도ZnO박막.원자력현미경화X사선연사측시분석표명,소득ZnO박막구유납미과립다정결구,립경재30～70 nm,정립척촌수박막후도증가이증대,불동후도적박막균구유고도적c축취향성.유GDARE법침적적ZnO박막구유교고적온차전동세솔S(Seebeck계수),후도200nm적박막재440 K부근S가체600μV/K.상동온도하,박막적온차전동세솔S여전조솔ρ균수착막후적증가이감소.재고찰료박막전조솔여온차전동세솔적종합영향후,득도재440 K부근,후도위600 nm적ZnO박막구유상대최우수적열전성능.토론료ZnO박막적표면전전도과정급온차전동세산생궤제.
