功能材料与器件学报
功能材料與器件學報
공능재료여기건학보
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
2011年
5期
486-490
,共5页
师小萍%于广辉%王斌%吴渊文
師小萍%于廣輝%王斌%吳淵文
사소평%우엄휘%왕빈%오연문
石墨烯%化学气相沉积(CVD)%表面处理%拉曼
石墨烯%化學氣相沉積(CVD)%錶麵處理%拉曼
석묵희%화학기상침적(CVD)%표면처리%랍만
利用自行搭建的化学气相沉积(CVD)设备在Cu箔衬底上成功的制备出石墨烯薄膜,并利用光学显微镜和拉曼光谱分析等手段对石墨烯薄膜的形貌和结构进行了表征.主要研究了Cu箔的表面处理和沉积过程的气体流量对石墨烯质量的影响,发现氨水处理Cu箔可以腐蚀Cu箔表面的各种杂质提高Cu箔的洁净度从而提高石墨烯的结晶质量,优化CH4和H2的气体流量可以提高石墨烯的单层性和均匀性.并最终在CH4∶H2=200∶0 sccm条件下,在氨水处理过的Cu箔上获得了面积1.5 cm×1.5 cm的均匀的单层石墨烯.
利用自行搭建的化學氣相沉積(CVD)設備在Cu箔襯底上成功的製備齣石墨烯薄膜,併利用光學顯微鏡和拉曼光譜分析等手段對石墨烯薄膜的形貌和結構進行瞭錶徵.主要研究瞭Cu箔的錶麵處理和沉積過程的氣體流量對石墨烯質量的影響,髮現氨水處理Cu箔可以腐蝕Cu箔錶麵的各種雜質提高Cu箔的潔淨度從而提高石墨烯的結晶質量,優化CH4和H2的氣體流量可以提高石墨烯的單層性和均勻性.併最終在CH4∶H2=200∶0 sccm條件下,在氨水處理過的Cu箔上穫得瞭麵積1.5 cm×1.5 cm的均勻的單層石墨烯.
이용자행탑건적화학기상침적(CVD)설비재Cu박츤저상성공적제비출석묵희박막,병이용광학현미경화랍만광보분석등수단대석묵희박막적형모화결구진행료표정.주요연구료Cu박적표면처리화침적과정적기체류량대석묵희질량적영향,발현안수처리Cu박가이부식Cu박표면적각충잡질제고Cu박적길정도종이제고석묵희적결정질량,우화CH4화H2적기체류량가이제고석묵희적단층성화균균성.병최종재CH4∶H2=200∶0 sccm조건하,재안수처리과적Cu박상획득료면적1.5 cm×1.5 cm적균균적단층석묵희.
