ULSI/VLSI中铝互连线热应力的数值模拟
ULSI/VLSI중려호련선열응력적수치모의
Numerical Simulation of Thermal Stress in Al Interconnects of ULSI/VLSI
  • 万方数据
    微电子学 미전자학
    MICROELECTRONICS
    2005年 6期 577-580 ,共4页

    付厚奎%吴月花%刘志民%郭春生%李志国%程尧海%吉元%崔伟

    부후규%오월화%류지민%곽춘생%리지국%정요해%길원%최위

    VLSI%铝互连线%热应力%有限元 VLSI%鋁互連線%熱應力%有限元
    VLSI%려호련선%열응력%유한원
    对有钝化层与无钝化层的铝互连线的热应力进行了数值模拟,并建立起互连线的二维有限元模型.对无钝化的铝互连线,只考虑弹性行为,其应力随线宽及衬底刚度的增加而增加.对于钝化的铝互连线,对其弹性行为和弹性/理想塑性行为进行了模拟.结果发现,互连线线宽的减小,钝化层硬度的增加,都会使应力增加.与纯弹性线条相比,弹性/理想塑性互连线条中的应力有所减小,且分布更均匀.
    대유둔화층여무둔화층적려호련선적열응력진행료수치모의,병건립기호련선적이유유한원모형.대무둔화적려호련선,지고필탄성행위,기응력수선관급츤저강도적증가이증가.대우둔화적려호련선,대기탄성행위화탄성/이상소성행위진행료모의.결과발현,호련선선관적감소,둔화층경도적증가,도회사응력증가.여순탄성선조상비,탄성/이상소성호련선조중적응력유소감소,차분포경균균.
    원문보기 원문다운로드 사이트로이동
저자의 최근 논문