合肥工业大学学报（自然科学版）
閤肥工業大學學報（自然科學版）
합비공업대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF HEFEI UNIVERSITY OF TECHNOLOGY(NATURAL SCIENCE)
2005年
10期
1260-1263
,共4页
陈庆连%陈长琦%王君%方应翠%王旭迪
陳慶連%陳長琦%王君%方應翠%王旭迪
진경련%진장기%왕군%방응취%왕욱적
反应磁控溅射%工艺参数%VO2薄膜%XPS分析
反應磁控濺射%工藝參數%VO2薄膜%XPS分析
반응자공천사%공예삼수%VO2박막%XPS분석
文章通过改变玻璃基温度和靶基间距,采用m(O2)/m(Ar)为1:12.5,溅射功率为190 W,工作真空度为2.2 Pa,用DC磁控溅射法在玻璃基上沉积VO2薄膜,并经真空退火处理,制备的试样通过XPS测试分析薄膜表面的元素组成及成分.测试分析结果表明,基片温度在室温或超过350℃,易于生成VO2薄膜,真空退火可以显著改善制备薄膜的氧缺陷,提高V与O的化学计量比.
文章通過改變玻璃基溫度和靶基間距,採用m(O2)/m(Ar)為1:12.5,濺射功率為190 W,工作真空度為2.2 Pa,用DC磁控濺射法在玻璃基上沉積VO2薄膜,併經真空退火處理,製備的試樣通過XPS測試分析薄膜錶麵的元素組成及成分.測試分析結果錶明,基片溫度在室溫或超過350℃,易于生成VO2薄膜,真空退火可以顯著改善製備薄膜的氧缺陷,提高V與O的化學計量比.
문장통과개변파리기온도화파기간거,채용m(O2)/m(Ar)위1:12.5,천사공솔위190 W,공작진공도위2.2 Pa,용DC자공천사법재파리기상침적VO2박막,병경진공퇴화처리,제비적시양통과XPS측시분석박막표면적원소조성급성분.측시분석결과표명,기편온도재실온혹초과350℃,역우생성VO2박막,진공퇴화가이현저개선제비박막적양결함,제고V여O적화학계량비.
