衬底温度对PLD方法生长Si(111)基ZnO薄膜结晶质量和发光特性的影响
츤저온도대PLD방법생장Si(111)기ZnO박막결정질량화발광특성적영향
Effects of Substrate Temperatures on the Quality and Optical Properties of ZnO Thin Films Grown on Silicon (111) by P LD
  • 万方数据
    稀有金属材料与工程 희유금속재료여공정
    RARE METAL MATERIALS AND ENGINEERNG
    2006年 7期 1105-1108 ,共4页

    庄惠照%何建廷%薛成山%张晓凯%田德恒%胡丽君%薛守斌

    장혜조%하건정%설성산%장효개%전덕항%호려군%설수빈

    PLD%ZnO%薄膜%六方纤锌矿结构 PLD%ZnO%薄膜%六方纖鋅礦結構
    PLD%ZnO%박막%륙방섬자광결구
    在不同衬底温度下用脉冲激光沉积法(PLD)在n型硅(111)衬底上生长ZnO薄膜.通过对薄膜进行的X射线衍射(XRD)、傅里叶红外吸收(FTIR)、光致发光谱(PL)、透射电子显微镜(TEM)和选区电子衍射(SAED)的测量,研究了衬底温度对PLD方法制备的ZnO薄膜的结晶质量、发光性质以及微观结构的影响.发现在600℃的衬底温度下可以得到结晶质量最佳的ZnO薄膜.随着晶粒直径的减小,出现量子限制效应,在红外吸收和光致发光中的峰位均产生了蓝移.
    재불동츤저온도하용맥충격광침적법(PLD)재n형규(111)츤저상생장ZnO박막.통과대박막진행적X사선연사(XRD)、부리협홍외흡수(FTIR)、광치발광보(PL)、투사전자현미경(TEM)화선구전자연사(SAED)적측량,연구료츤저온도대PLD방법제비적ZnO박막적결정질량、발광성질이급미관결구적영향.발현재600℃적츤저온도하가이득도결정질량최가적ZnO박막.수착정립직경적감소,출현양자한제효응,재홍외흡수화광치발광중적봉위균산생료람이.
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