无机材料学报
無機材料學報
무궤재료학보
JOURNAL OF INORGANIC MATERIALS
2007年
1期
173-175
,共3页
边继明%刘维峰%胡礼中%梁红伟
邊繼明%劉維峰%鬍禮中%樑紅偉
변계명%류유봉%호례중%량홍위
ZnO薄膜%同质p-n结%电致发光%超声喷雾热分解
ZnO薄膜%同質p-n結%電緻髮光%超聲噴霧熱分解
ZnO박막%동질p-n결%전치발광%초성분무열분해
采用超声喷雾热解法在单晶GaAs(100)衬底上生长ZnO同质p-n结.以醋酸锌水溶液为前驱体,分别以醋酸铵和硝酸铟为氮(N)源和铟(In)源,通过氮-铟(N-In)共掺杂沉积p型ZnO薄膜,以未故意掺杂的ZnO薄膜做为n型层获得ZnO基同质p-n结.采用热蒸发工艺在ZnO层和GaAs衬底上分别蒸镀Zn/Au和Au/Ge/Ni电极而获得发光二极管原型器件,在室温下发现了该器件正向电流注入下的连续发光现象.
採用超聲噴霧熱解法在單晶GaAs(100)襯底上生長ZnO同質p-n結.以醋痠鋅水溶液為前驅體,分彆以醋痠銨和硝痠銦為氮(N)源和銦(In)源,通過氮-銦(N-In)共摻雜沉積p型ZnO薄膜,以未故意摻雜的ZnO薄膜做為n型層穫得ZnO基同質p-n結.採用熱蒸髮工藝在ZnO層和GaAs襯底上分彆蒸鍍Zn/Au和Au/Ge/Ni電極而穫得髮光二極管原型器件,在室溫下髮現瞭該器件正嚮電流註入下的連續髮光現象.
채용초성분무열해법재단정GaAs(100)츤저상생장ZnO동질p-n결.이작산자수용액위전구체,분별이작산안화초산인위담(N)원화인(In)원,통과담-인(N-In)공참잡침적p형ZnO박막,이미고의참잡적ZnO박막주위n형층획득ZnO기동질p-n결.채용열증발공예재ZnO층화GaAs츤저상분별증도Zn/Au화Au/Ge/Ni전겁이획득발광이겁관원형기건,재실온하발현료해기건정향전류주입하적련속발광현상.
