光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2007年
5期
640-645
,共6页
周洪军%郑津津%霍同林%张国斌%戚泽明%钟鹏飞
週洪軍%鄭津津%霍同林%張國斌%慼澤明%鐘鵬飛
주홍군%정진진%곽동림%장국빈%척택명%종붕비
光谱定标%光束线%高次谐波%光谱计量
光譜定標%光束線%高次諧波%光譜計量
광보정표%광속선%고차해파%광보계량
采用自制的840/mm金膜自支撑透射光栅和美国IRD公司的AXUV100G光电二极管探测器,定量研究了光谱辐射标准和计量光束线在5～140 nm波段的高次谐波.研究了Al、Si3N4和Zr滤片在不同能量范围对高次谐波的抑制作用,给出了实验数据和曲线.实验结果显示:在5～15 nm波段,不用任何滤片高次谐波的信号强度＜7%;在5～34 nm波段,适当的选用Al、Si3N4和Zr滤片可有效地抑制高次谐波,将高次谐波占基波的积分信号强度比例控制在＜14%,经探测器的量子效率修正后高次谐波的百分比在6.5%以内.在经过MgF2窗滤波的115～140 nm波段,高次谐波的衍射峰几乎完全被抑制.这一研究为软X射线和极紫外的光谱计量、探测器定标和光学元件性能测试奠定了基础.
採用自製的840/mm金膜自支撐透射光柵和美國IRD公司的AXUV100G光電二極管探測器,定量研究瞭光譜輻射標準和計量光束線在5～140 nm波段的高次諧波.研究瞭Al、Si3N4和Zr濾片在不同能量範圍對高次諧波的抑製作用,給齣瞭實驗數據和麯線.實驗結果顯示:在5～15 nm波段,不用任何濾片高次諧波的信號彊度＜7%;在5～34 nm波段,適噹的選用Al、Si3N4和Zr濾片可有效地抑製高次諧波,將高次諧波佔基波的積分信號彊度比例控製在＜14%,經探測器的量子效率脩正後高次諧波的百分比在6.5%以內.在經過MgF2窗濾波的115～140 nm波段,高次諧波的衍射峰幾乎完全被抑製.這一研究為軟X射線和極紫外的光譜計量、探測器定標和光學元件性能測試奠定瞭基礎.
채용자제적840/mm금막자지탱투사광책화미국IRD공사적AXUV100G광전이겁관탐측기,정량연구료광보복사표준화계량광속선재5～140 nm파단적고차해파.연구료Al、Si3N4화Zr려편재불동능량범위대고차해파적억제작용,급출료실험수거화곡선.실험결과현시:재5～15 nm파단,불용임하려편고차해파적신호강도＜7%;재5～34 nm파단,괄당적선용Al、Si3N4화Zr려편가유효지억제고차해파,장고차해파점기파적적분신호강도비례공제재＜14%,경탐측기적양자효솔수정후고차해파적백분비재6.5%이내.재경과MgF2창려파적115～140 nm파단,고차해파적연사봉궤호완전피억제.저일연구위연X사선화겁자외적광보계량、탐측기정표화광학원건성능측시전정료기출.
