CAJ | 학술논문

用脉冲激光沉积(PLD)方法在多孔硅(PS)衬底上沉积了ZnS薄膜.用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、荧光分光光度计分别研究了ZnS薄膜的晶体结构、表面形貌及光学性能.结果表明,ZnS薄膜呈立方相晶体结构,沿β-ZnS(111)晶向择优取向生长;经过300℃真空退火30min后,ZnS薄膜的XRD衍射峰强度增大,表面变得粗糙,在可见光区的平均透射率达到80%以上,适合作太阳能电池过渡层、红外增透膜、红外窗口和头罩等.在退火后的ZnS/PS复合膜体系的光致发光谱(PL)中,除了高能端ZnS的蓝光发射和低能端PS的红光发射外,在光谱中间550nm附近出现了一个新的绿光发射,这归因于ZnS薄膜退火过程中形成的缺陷能级而产生的缺陷中心发光.根据三基色叠加的原理将ZnS的蓝、绿光与PS的红光叠加在一起后,ZnS/PS复合膜体系呈现出了较强的白光发射,这为固态白光发射器件的实现开辟了一条新的捷径.
용맥충격광침적(PLD)방법재다공규(PS)츤저상침적료ZnS박막.용X사선연사의(XRD)、소묘전자현미경(SEM)、형광분광광도계분별연구료ZnS박막적정체결구、표면형모급광학성능.결과표명,ZnS박막정립방상정체결구,연β-ZnS(111)정향택우취향생장;경과300℃진공퇴화30min후,ZnS박막적XRD연사봉강도증대,표면변득조조,재가견광구적평균투사솔체도80%이상,괄합작태양능전지과도층、홍외증투막、홍외창구화두조등.재퇴화후적ZnS/PS복합막체계적광치발광보(PL)중,제료고능단ZnS적람광발사화저능단PS적홍광발사외,재광보중간550nm부근출현료일개신적록광발사,저귀인우ZnS박막퇴화과정중형성적결함능급이산생적결함중심발광.근거삼기색첩가적원리장ZnS적람、록광여PS적홍광첩가재일기후,ZnS/PS복합막체계정현출료교강적백광발사,저위고태백광발사기건적실현개벽료일조신적첩경.