湖南大学学报（自然科学版）
湖南大學學報（自然科學版）
호남대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF HUNAN UNIVERSITY(NATURAL SCIENCES EDITION)
2011年
9期
59-63
,共5页
周灵平%罗小兰%朱家俊%彭坤%李德意%李绍禄
週靈平%囉小蘭%硃傢俊%彭坤%李德意%李紹祿
주령평%라소란%주가준%팽곤%리덕의%리소록
薄膜%折射率%电子束蒸发
薄膜%摺射率%電子束蒸髮
박막%절사솔%전자속증발
采用电子束蒸发技术及其辅助工艺制备了TiO2薄膜,利用X射线衍射(XRD)、X射线光电子能谱(XPS)和原子力显微镜(AFM)对薄膜的组织结构进行了表征,采用紫外可见分光光度计研究了TiO2薄膜的折射率变化.结果表明:传统电子束蒸发镀制的TiO2薄膜的折射率低于块体值,通过调节氧气压、沉积速率和衬底温度可在1.97～2.22范围内调控其折射率；采用离子束辅助轰击可使薄膜致密化,获得折射率在2.06～2.42范围内变化的TiO2薄膜；利用斜角入射沉积可控制薄膜生长角度与孔隙率,实现折射率在1.71～2.18范围内的调控.
採用電子束蒸髮技術及其輔助工藝製備瞭TiO2薄膜,利用X射線衍射(XRD)、X射線光電子能譜(XPS)和原子力顯微鏡(AFM)對薄膜的組織結構進行瞭錶徵,採用紫外可見分光光度計研究瞭TiO2薄膜的摺射率變化.結果錶明:傳統電子束蒸髮鍍製的TiO2薄膜的摺射率低于塊體值,通過調節氧氣壓、沉積速率和襯底溫度可在1.97～2.22範圍內調控其摺射率；採用離子束輔助轟擊可使薄膜緻密化,穫得摺射率在2.06～2.42範圍內變化的TiO2薄膜；利用斜角入射沉積可控製薄膜生長角度與孔隙率,實現摺射率在1.71～2.18範圍內的調控.
채용전자속증발기술급기보조공예제비료TiO2박막,이용X사선연사(XRD)、X사선광전자능보(XPS)화원자력현미경(AFM)대박막적조직결구진행료표정,채용자외가견분광광도계연구료TiO2박막적절사솔변화.결과표명:전통전자속증발도제적TiO2박막적절사솔저우괴체치,통과조절양기압、침적속솔화츤저온도가재1.97～2.22범위내조공기절사솔；채용리자속보조굉격가사박막치밀화,획득절사솔재2.06～2.42범위내변화적TiO2박막；이용사각입사침적가공제박막생장각도여공극솔,실현절사솔재1.71～2.18범위내적조공.
