仪器仪表学报
儀器儀錶學報
의기의표학보
CHINESE JOURNAL OF SCIENTIFIC INSTRUMENT
2011年
10期
2324-2329
,共6页
马立%欧阳航空%荣伟彬%何正峰%孙立宁
馬立%歐暘航空%榮偉彬%何正峰%孫立寧
마립%구양항공%영위빈%하정봉%손립저
相对位姿检测%LVDT%光学装配
相對位姿檢測%LVDT%光學裝配
상대위자검측%LVDT%광학장배
针对光学精密装配工艺特点,提出一种基于LVDT的三维相对位姿检测方法.采用4个对称分布的LVDT检测光学装配过程中球面镜与谐振腔体的位姿关系,根据LVDT的读数推导得出球面镜与谐振腔体的相对位姿.设计采用集成信号调理芯片AD598的LVDT处理电路作为位姿检测的控制系统,通过实验得出LVDT微位移检测的分辨率为0.1 μm,重复检测精度为±0.3μm,并能较好地跟踪方波及正弦波信号.采用PID算法实现球面镜的快速位姿定位.实验结果表明:当球面镜的加工及安装误差在允许范围内时,位姿检测系统可以在25 s内完成球面镜相对于谐振腔体的位姿调整,最大距离误差为0.5 μn,最大角度误差为8″,充分验证了基于LVDT相对位姿检测方法的可行性.
針對光學精密裝配工藝特點,提齣一種基于LVDT的三維相對位姿檢測方法.採用4箇對稱分佈的LVDT檢測光學裝配過程中毬麵鏡與諧振腔體的位姿關繫,根據LVDT的讀數推導得齣毬麵鏡與諧振腔體的相對位姿.設計採用集成信號調理芯片AD598的LVDT處理電路作為位姿檢測的控製繫統,通過實驗得齣LVDT微位移檢測的分辨率為0.1 μm,重複檢測精度為±0.3μm,併能較好地跟蹤方波及正絃波信號.採用PID算法實現毬麵鏡的快速位姿定位.實驗結果錶明:噹毬麵鏡的加工及安裝誤差在允許範圍內時,位姿檢測繫統可以在25 s內完成毬麵鏡相對于諧振腔體的位姿調整,最大距離誤差為0.5 μn,最大角度誤差為8″,充分驗證瞭基于LVDT相對位姿檢測方法的可行性.
침대광학정밀장배공예특점,제출일충기우LVDT적삼유상대위자검측방법.채용4개대칭분포적LVDT검측광학장배과정중구면경여해진강체적위자관계,근거LVDT적독수추도득출구면경여해진강체적상대위자.설계채용집성신호조리심편AD598적LVDT처리전로작위위자검측적공제계통,통과실험득출LVDT미위이검측적분변솔위0.1 μm,중복검측정도위±0.3μm,병능교호지근종방파급정현파신호.채용PID산법실현구면경적쾌속위자정위.실험결과표명:당구면경적가공급안장오차재윤허범위내시,위자검측계통가이재25 s내완성구면경상대우해진강체적위자조정,최대거리오차위0.5 μn,최대각도오차위8″,충분험증료기우LVDT상대위자검측방법적가행성.
